[특허]지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법

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지르코늄 금속을 함유하는 신규한 유기금속화합물 및 그 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC9판)	C07F-007/00 C23C-016/18 C23C-016/44 H01L-021/02
출원번호	10-2011-0022615 (2011-03-15)
공개번호	10-2012-0105070 (2012-09-25)
등록번호	10-1263454-0000 (2013-05-06)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020110022615
발명자 / 주소	김현창 / 경기도 수원시 영통구 봉영로**번길 , 신나무실 신명아파트 *동 호 (영통동) 안대준 / 경기도 용인시 기흥구 언남동 초원마을성원상떼빌아파트 동 *호
출원인 / 주소	주식회사 메카로닉스 / 경기도 평택시 산단로 *- (모곡동)
대리인 / 주소	김승호
심사청구여부	있음 (2011-03-15)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본발명은 하기 화학식 1로 표시되는 신규한 지르코늄 유기금속화합물 및 그의 제조방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 화학 기상 증착법(Chemical vapor deposition : CVD) 또는 원자층 증착법(Atomic layer deposion : ALD)에 적용 가능하고 열적, 화학적으로 안정한 지르코늄 유기금속화합물 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라 합성된 지르코늄 유기금속화합물은 고휘발성이며 열적으로 안정하여 지르코늄 금속 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.(화학식 1)상기 화학식 1에서,R1는

대표청구항

하기 화학식 1의 유기금속 화합물(화학식 1)상기 화학식 1에서,R1는 C1-C4의 알킬기이고;R2및R3는 서로 독립적으로 C1-C6의 알킬기이다.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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