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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0028344 (2011-03-29) | |
공개번호 | 10-2012-0113816 (2012-10-16) | |
등록번호 | 10-1298768-0000 (2013-08-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110028344 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-03-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 시료를 향해 스퍼터링 증착을 행하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치에 관한 것으로서, 지지체와; 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 타겟과; 상기 타겟 내부에서 상기 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향을 향하도록 회동 가능하게 설치되는 마그네트와; 상기 타겟을 정역 회전시키며, 상기 마그네트를 회동 및 회동 상태 유지시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 간단한 구조로 예비 스퍼터링 과정에서 타겟 입자가 시료로 전달되는 것을 최소화 할 수 있고, 스퍼터링 설비의 제작비 상승을 방지할
지지체와, 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 타겟을 가지고 시료를 향해 스퍼터링 증착을 행하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치에 있어서, 상기 타겟의 축선 방향 양측에 결합되어 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되며, 중심에 축삽입공이 형성된 타겟회전체;양단부가 상기 축삽입공에 회전 가능하게 삽입되는 마그네트지지축;상기 타겟 내부에서 상기 마그네트지지축에 지지되어 상기 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향을 향하도록 회동하는 마그네트;상기 타겟을 정역 회전시키며, 상기 마그네트를 회동 및 회동 상태 유지시키는 구
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