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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0056132 (2013-05-20) | |
공개번호 | 10-2014-0136112 (2014-11-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130056132 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-05-20) | |
심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 기판에 증착되는 물질로 이루어지며, 호 형상으로 이루어지는 적어도 2개의 타겟이 원통형상을 형성되는 타겟부와, 상기 타겟부를 감싸며, 상기 타겟부의 외면의 일부가 노출되는 노출 홀을 구비하는 차폐부와, 상기 타겟부의 내부에 위치하는 마그넷과, 상기 타겟부를 회전시키는 타겟 회전 수단 및 상기 차폐부를 회전시키는 차폐 회전 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 타겟과 이를 포함하는 공정 챔버를 개시한다.
기판에 증착되는 물질로 이루어지며 호 형상으로 이루어지는 적어도 2개의 타겟이 원통형상을 형성되는 타겟부와,상기 타겟부를 감싸며, 상기 타겟부의 외면의 일부가 노출되는 노출 홀을 구비하는 차폐부와,상기 타겟부의 내부에 위치하는 마그넷과,상기 타겟부를 회전시키는 타겟 회전 수단 및 상기 차폐부를 회전시키는 차폐 회전 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 회전형 타겟
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