초록 ▼

본 발명은 시료를 향해 스퍼터링 증착을 행하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치에 관한 것으로서, 지지체와; 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 타겟과; 상기 타겟 내부에서 상기 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향을 향하도록 회동 가능하게 설치되는 마그네트와; 상기 타겟을 정역 회전시키며, 상기 마그네트를 회동 및 회동 상태 유지시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 간단한 구조로 예비 스퍼터링 과정에서 타겟 입자가 시료로 전달되는 것을 최소화 할 수 있고, 스퍼터링 설비의 제작비 상승을 방지할

본 발명은 시료를 향해 스퍼터링 증착을 행하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치에 관한 것으로서, 지지체와; 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 타겟과; 상기 타겟 내부에서 상기 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향을 향하도록 회동 가능하게 설치되는 마그네트와; 상기 타겟을 정역 회전시키며, 상기 마그네트를 회동 및 회동 상태 유지시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 간단한 구조로 예비 스퍼터링 과정에서 타겟 입자가 시료로 전달되는 것을 최소화 할 수 있고, 스퍼터링 설비의 제작비 상승을 방지할 수 있는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치가 제공된다.

대표청구항 ▼

지지체와, 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 타겟을 가지고 시료를 향해 스퍼터링 증착을 행하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치에 있어서, 상기 타겟의 축선 방향 양측에 결합되어 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되며, 중심에 축삽입공이 형성된 타겟회전체;양단부가 상기 축삽입공에 회전 가능하게 삽입되는 마그네트지지축;상기 타겟 내부에서 상기 마그네트지지축에 지지되어 상기 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향을 향하도록 회동하는 마그네트;상기 타겟을 정역 회전시키며, 상기 마그네트를 회동 및 회동 상태 유지시키는 구

지지체와, 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되는 원통 형상의 타겟을 가지고 시료를 향해 스퍼터링 증착을 행하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치에 있어서, 상기 타겟의 축선 방향 양측에 결합되어 상기 지지체에 정역 회전 가능하게 지지되며, 중심에 축삽입공이 형성된 타겟회전체;양단부가 상기 축삽입공에 회전 가능하게 삽입되는 마그네트지지축;상기 타겟 내부에서 상기 마그네트지지축에 지지되어 상기 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향을 향하도록 회동하는 마그네트;상기 타겟을 정역 회전시키며, 상기 마그네트를 회동 및 회동 상태 유지시키는 구동수단을 포함하되;구동수단은 정역구동모터와, 상기 정역구동모터의 회전축에 결합되는 원동풀리와,상기 타겟회전체에 결합되는 피동풀리와,상기 원동풀리와 상기 피동풀리를 연동 가능하게 연결하는 적어도 하나의 구동력전달부재와,상기 타겟회전체의 축삽입공 내주면과 이에 대응하는 상기 마그네트지지축의 외주면 사이에 개재되어 상기 타겟회전체의 회전력을 상기 마그네트지지축의 회동력으로 전달하는 회동력전달부재와,상기 마그네트의 회동이 시료 측 방향과 시료 반대 측 방향 범위 내에서 이루어지도록 상기 마그네트지지축의 회동범위를 제한하는 회동범위설정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 캐소드 장치.