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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2011-0051477 (2011-05-30) |
| 공개번호 | 10-2012-0133017 (2012-12-10) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020110051477 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2011-05-30) |
| 심사진행상태 | 포기(등록료 미납) |
| 법적상태 | 포기 |
본 발명의 일 실시예에 의하면, 잉곳 성장장치는, 씨드가 이동하는 하부이동포트 및 외부로부터 실리콘이 공급되는 공급포트를 구비하는 성장챔버(grow chamber); 상기 성장챔버의 내부에 설치되며, 상기 실리콘이 채워지는 도가니(crucible); 상기 하부이동포트에 연결되는 상부이동포트를 구비하며, 상기 하부이동포트 및 상기 상부이동포트를 통해 이동하는 상기 씨드의 이동통로를 제공하는 풀챔버(pull chamber); 상기 실리콘이 내부에 채워지며, 하부에 형성된 배출포트를 통해 상기 실리콘을 배출하는 호퍼; 상기 호퍼를 승강
씨드가 이동하는 하부이동포트 및 외부로부터 실리콘이 공급되는 공급포트를 구비하는 성장챔버(grow chamber);상기 성장챔버의 내부에 설치되며, 상기 실리콘이 채워지는 도가니(crucible);상기 하부이동포트에 연결되는 상부이동포트를 구비하며, 상기 하부이동포트 및 상기 상부이동포트를 통해 이동하는 상기 씨드의 이동통로를 제공하는 풀챔버(pull chamber);상기 실리콘이 내부에 채워지며, 하부에 형성된 배출포트를 통해 상기 실리콘을 배출하는 호퍼;상기 호퍼를 승강 가능하게 지지하는 승강 기구; 및상기 호퍼를 회전가능하게
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