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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0054559 (2011-06-07) |
공개번호 | 10-2012-0135701 (2012-12-17) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110054559 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-06-07) |
심사진행상태 | 거절결정(재심사) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 스핀코팅 장치 및 방법, 그리고 구조물을 갖는 기판의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 모습에 따라, 구조물을 갖는 기판을 지지하는 지지대; 구조물에 대한 스핀코팅이 수행될 수 있도록 지지대를 회전시키는 모터; 및 스핀코팅이 수행되는 코팅물을 가열하여 프리-베이킹하는 열원; 을 포함하여 이루어지는 스핀코팅 장치가 제안된다. 본 발명의 다른 하나의 모습에 따라, 소정 높이의 구조물이 기판 상부에 형성된 기판을 준비하는 단계; 및 기판의 구조물에 포토레지스트를 도포하고, 열원이 구비된 장소에서 포토레지스트 스핀코팅을
구조물을 갖는 기판을 지지하는 지지대;상기 구조물에 대한 스핀코팅이 수행될 수 있도록 상기 지지대를 회전시키는 모터; 및상기 스핀코팅이 수행되는 코팅물을 가열하여 프리-베이킹하는 열원; 을 포함하여 이루어지는 스핀코팅 장치.
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