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연합인증

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감광제 분사 체크기능을 갖는 웨이퍼 스핀코팅 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/312
출원번호 10-1996-0055033 (1996-11-18)
공개번호 10-1998-0036465 (1998-08-05)
등록번호 10-0236270-0000 (1999-09-29)
DOI http://doi.org/10.8080/1019960055033
발명자 / 주소
  • 최선집 / 경기도 화성군 태안읍 반정리 ***-*번지
  • 김종관 / 경기도 수원시 팔달구 망포동 ***-**번지 도고빌라 *동 ***호
  • 장일진 / 경기도 수원시 팔달구 매탄*동 ****번지 한국*차아파트 ***동 ***호
출원인 / 주소
  • 삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소
  • 박만순; 신동준 (PARK, Man Soon)
  • 서울 강남구 역삼동 ***-** 덕원빌딩 *층; 서울서초구서초동****-*서초제일빌딩***호(인벤티브국제특허법률사무소)
심사청구여부 있음 (1996-11-18)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

포토레지스트의 펌핑을 체크하여 웨이퍼 코팅을 위한 포토레지스트의 분사를 위한 펌핑이 수행되지 않으면 스핀코팅 동작을 중지시키는 감광제 분사체크 기능을 갖는 웨이퍼 스핀코팅 시스템에 관한 것이다.본 발명은, 스핀코팅을 수행하기 위하여 웨이퍼가 장착된 회전장치의 구동을 제어하고 포토레지스트를 펌핑하기 위한 펌핑동작명령을 출력하는 제 1 컨트롤러를 구비하는 스핀코팅부, 펌핑동작명령이 인가되면 펌핑동작개시신호를 출력하고 가스유입단속을 위한 밸브로 개폐

대표청구항

가스펌핑방식으로 포토레지스트를 웨이퍼로 분사 및 코팅하는 웨이퍼 스핀코팅 시스템에 있어서,스핀코팅을 수행하기 위하여 상기 웨이퍼가 장착된 회전장치의 구동을 제어하고 포토레지스트를 펌핑하기 위한 펌핑동작명령을 출력하는 제 1 컨트롤러를 구비하는 스핀코팅부;상기 펌핑동작명령이 인가되면 펌핑동작개시신호를 출력하고 가스유입단속을 위한 밸브로 개폐신호를 출력하여 외부 가스를 소정 용기로 유입시켜서 내부에 수용된 포토레지스트를 가압배출시키는 제 2 컨트롤러를

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [일본] PHOTORESISTS COATER | YASUDA JUNICHI, KATO HARUO
  2. [일본] SPIN COATING DEVICE | MATSUMURA KAZUO
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