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스핀코팅 장치 및 방법, 그리고 구조물을 갖는 기판의 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/027
출원번호 10-2011-0054559 (2011-06-07)
공개번호 10-2012-0135701 (2012-12-17)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110054559
발명자 / 주소
  • 이승섭 / 경기도 용인시 기흥구 구갈로 **-**, 주공아파트 ***동 ***호 (신갈동)
  • 신동철 / 경기도 수원시 영통구 원천동 ***번지 ***호
출원인 / 주소
  • 삼성전기주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매영로 *** (매탄동)
대리인 / 주소
  • 김창달
심사청구여부 있음 (2011-06-07)
심사진행상태 거절결정(재심사)
법적상태 거절

초록 ▼

본 발명은 스핀코팅 장치 및 방법, 그리고 구조물을 갖는 기판의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 모습에 따라, 구조물을 갖는 기판을 지지하는 지지대; 구조물에 대한 스핀코팅이 수행될 수 있도록 지지대를 회전시키는 모터; 및 스핀코팅이 수행되는 코팅물을 가열하여 프리-베이킹하는 열원; 을 포함하여 이루어지는 스핀코팅 장치가 제안된다. 본 발명의 다른 하나의 모습에 따라, 소정 높이의 구조물이 기판 상부에 형성된 기판을 준비하는 단계; 및 기판의 구조물에 포토레지스트를 도포하고, 열원이 구비된 장소에서 포토레지스트 스핀코팅을

대표청구항

구조물을 갖는 기판을 지지하는 지지대;상기 구조물에 대한 스핀코팅이 수행될 수 있도록 상기 지지대를 회전시키는 모터; 및상기 스핀코팅이 수행되는 코팅물을 가열하여 프리-베이킹하는 열원; 을 포함하여 이루어지는 스핀코팅 장치.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 기판상에 포토레지스트를 증착하는 방법 | 타쿠,란디,피.,에스.
    상세보기
  2. [한국] 패턴 형성 방법 및 장치와 반도체 디바이스, 전기 회로,표시체 모듈과 발광 소자 | 모리,요시아끼, 미야까와,다꾸야, 다까기,겐이찌, 아스께,신따로, 사또,미쯔루
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