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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0094220 (2011-09-19) | |
공개번호 | 10-2013-0030625 (2013-03-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110094220 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 드럼의 곡면에 대응하여 상부면이 곡면을 이루는 캐소드 장치의 상부면에 곡면을 이루도록 타겟이 마련되고, 캐소드 내에 복수의 마그넷이 곡면을 이루도록 배치되는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치가 제시된다.
드럼의 곡면에 대응하여 상부면이 곡면을 이루는 대면적 연속 롤투롤 코팅용 캐소드 장치.
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