[특허]초극자외선용 펠리클 및 그 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC9판)	G03F-001/62 G03F-001/22
출원번호	10-2011-0141935 (2011-12-26)
공개번호	10-2013-0074066 (2013-07-04)
등록번호	10-1303795-0000 (2013-08-29)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020110141935
발명자 / 주소	박성호 / 경기도 오산시 경기대로 , 동 *호 (갈곶동, 우림아파트) 오혜근 / 서울특별시 영등포구 당산동가 *- 진로아파트 *- 김은진 / 서울특별시 강서구 강서로 , 동 호 (내발산동, 우장산힐스테이트) 유장동 / 경기도 수원시 장안구 월드컵로 - (연무동) 장명식 / 서울특별시 송파구 올림픽로길 , 아시아선수촌아파트 동 ****호 (잠실동)
출원인 / 주소	주식회사 에프에스티 / 경기도 화성시 동탄면 영천리 **-
대리인 / 주소	특허법인다인
심사청구여부	있음 (2011-12-26)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 반도체 디바이스 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때 방진막으로 사용되는 리소그래피용 펠리클에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 초극자외선용 펠리클에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 자외선이 투과하는 펠리클 막과 상기 펠리클 막을 지지하는 펠리클 프레임을 포함하는 반도체 리소그래피용 펠리클에 있어서, 상기 펠리클 막은 두께가 100㎚이하인, 지르코늄(zirconium, Zr) 또는 몰리브덴(molybdenum, Mo) 금속 박막인 것을 특징으로 하는 초극자외선용 펠리클이 제공된다. 본 발명에 따른 초극자외선용 펠리클은

본 발명은 반도체 디바이스 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때 방진막으로 사용되는 리소그래피용 펠리클에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 초극자외선용 펠리클에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 자외선이 투과하는 펠리클 막과 상기 펠리클 막을 지지하는 펠리클 프레임을 포함하는 반도체 리소그래피용 펠리클에 있어서, 상기 펠리클 막은 두께가 100㎚이하인, 지르코늄(zirconium, Zr) 또는 몰리브덴(molybdenum, Mo) 금속 박막인 것을 특징으로 하는 초극자외선용 펠리클이 제공된다. 본 발명에 따른 초극자외선용 펠리클은 연성이 큰 금속 박막을 펠리클 막으로 사용하기 때문에 별도의 베이스 기판에 의한 지지가 없어도 쉽게 손상되지 않는다. 따라서 베이스 기판이 필요 없으며, 베이스 기판의 보강틀에 의한 패턴이 기판에 전사되는 문제가 발생하지 않는다. 또한, 초극자외선에 대한 투과율이 70% 이상으로 높다. 또한, 베이스 기판을 사용하지 않기 때문에 베이스 기판과 펠리클 막의 열팽창 계수 차이에 의한 변형도 방지할 수 있다.

대표청구항

자외선이 투과하는 펠리클 막과 상기 펠리클 막을 지지하는 펠리클 프레임을 포함하는 반도체 리소그래피용 펠리클에 있어서,상기 펠리클 막은 두께가 100㎚ 이하인, 지르코늄(zirconium, Zr) 또는 몰리브덴(molybdenum, Mo) 금속 단일 박막이며, 상기 펠리클 프레임은 세라믹인 것을 특징으로 하는 초극자외선용 펠리클.

발명자의 다른 특허 :

LOADING...

이 특허에 인용된 특허 (4)

[한국] 펠리클 및 펠리클의 제조 방법 | 구보타 요시히로, 아키야마 쇼지, 신도 도시히코
상세보기
[한국] 리소그래피용 펠리클 | 하마다 유이찌
상세보기
[한국] 광학 멤브레인 요소 | 뮐러 울리히, 라트 마틴
상세보기
[미국] Pellicle, lithographic apparatus and device manufacturing method | Banine,Vadim Yevgenyevich, Bleeker,Arno Jan
상세보기

이 특허를 인용한 특허 (5)

[한국] 유기물 희생층 기판을 이용한 초극자외선용 펠리클의 제조방법 | 조상진, 김명전, 박돈원, 김지강
상세보기
[한국] 유기물 희생층 기판을 이용한 초극자외선용 펠리클의 제조방법 | 조상진, 김명전, 박돈원, 김지강, 임재동, 서경원
상세보기
[한국] 펠리클, 그 제조 방법 및 노광 방법 | 고무라 가즈오, 다네이치 다이키, 오노 요스케, 이시카와 히사코, 비야지마 츠네아키, 오쿠보 아츠시, 사토 야스유키, 히로타 도시아키
상세보기
[한국] 펠리클 제조방법 | 조상진, 임재동, 서경원, 김명전, 박돈원, 김지강, 김현태
상세보기
[한국] 극자외선 리소그래피용 펠리클 구조체 | 오혜근, 이성규, 박진구, 안진호, 안일신, 김국진, 고기호, 김인선, 박성모, 이정환
상세보기

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

초극자외선용 펠리클 및 그 제조방법 원문보기

초록 ▼

대표청구항

발명자의 다른 특허 :

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (4)

이 특허를 인용한 특허 (5)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

연합인증

초극자외선용 펠리클 및 그 제조방법 원문보기

초록 ▼

대표청구항

발명자의 다른 특허 :

박성호 (3) 유장동 (16) 장명식 (21)

연구과제 타임라인

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

전체(0) 논문(0) 특허(0) 보고서(0)

이 특허에 인용된 특허 (4)

이 특허를 인용한 특허 (5)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트