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연합인증

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가스 분배 샤워헤드 스커트 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/205
출원번호 10-2011-7001095 (2011-01-14)
공개번호 10-2011-0031466 (2011-03-28)
국제출원번호 PCT/US2009/043189 (2009-05-07)
국제공개번호 WO2009154889 (2009-12-23)
번역문제출일자 2011-01-14
DOI http://doi.org/10.8080/1020117001095
발명자 / 주소
  • 초, 톰, 케이. / 미국 ***** 캘리포니아 로스 알토스 와일드크레스트 드라이브 *****
  • 쉬이흐, 브라이언, 시-유안 / 미국 ***** 캘리포니아 팔로 알토 루이스 로드 ****
  • 유안,쳉 / 미국 ***** 캘리포니아 프레몬트 벤보우 드라이브 *****
출원인 / 주소
  • 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 ***** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 ****
대리인 / 주소
  • 남상선
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록 ▼

본 발명은 일반적으로 처리 챔버 내의 가스 분배 샤워헤드로부터 연장하는 연장부 또는 스커트를 포함한다.기판을 처리할 때, 가스 분배 샤워헤드는 전기적으로 바이어스될 수 있다.전기적으로 바이어스된 샤워헤드는 몇몇 경우에, 처리 가스를 플라즈마 상태로 점화시킨다.처리 챔버의 벽 및 서셉터는 샤워헤드에 대해 접지될 수 있다.따라서, 기판의 에지들은 전기적으로 편향된 샤워헤드에 비해서 커다란 표면적의 접지 접점을 가질 수 있다.에지 근처에서 접지(grounding)의 증가로 인해, 기판 상에 증착된 재료가 기판 중앙부에 비해서 상이한 특성

대표청구항

처리 챔버 몸체와,상기 처리 챔버 몸체 내에 배열되는 가스 분배 샤워헤드로서, 상기 샤워헤드가 제 1 파워 소오스에 연결되며 일반적으로 직사각형 형상을 가지는, 가스 분배 샤워헤드와,상기 처리 챔버 몸체 내측에 배열되며 제 2 파워 소오스 또는 상기 제 1 파워 소오스에 연결되는 보조 전극, 및상기 처리 챔버 몸체 내에 배열되며 상기 보조 전극 및 가스 분배 샤워헤드로부터 이격된 서셉터를 포함하는,장치.

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