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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0020954 (2012-02-29) | |
공개번호 | 10-2013-0099443 (2013-09-06) | |
등록번호 | 10-1463395-0000 (2014-11-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120020954 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-03-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 무전해도금 방식 또는 스퍼터링 방식으로 전극을 형성하는 정전척 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 정전척은 기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서, 서로 접합되는 상부 플레이트와 하부 플레이트를 포함하고, 상기 상부 플레이트의 하면에는 전극이 형성되되, 상기 전극은 무전해도금 방식 또는 스퍼터링 방식으로 형성된 것을 특징으로 한다.
기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서,서로 접합되는 상부 플레이트와 하부 플레이트를 포함하고,상기 상부 플레이트의 하면에는 전극이 형성되되, 상기 전극은 무전해도금 방식 또는 스퍼터링 방식으로 형성되며,상기 상부 플레이트의 하면에는 금(Au)으로 상기 전극을 덮어서 보호하는 산화보호층이 형성되고,상기 산화보호층의 하면에는 상기 산화보호층을 덮어서 절연시키는 절연피막층이 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
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