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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2012-0034251 (2012-04-03) | |
| 등록번호 | 10-1309807-0000 (2013-09-11) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020120034251 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2012-04-03) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
레이저 어닐링 장치 및 레이저 어닐링 방법이 개시된다. 개시된 레이저 어닐링 장치는, 가공 대상물 상에 레이저광을 조사하여 어닐링 공정을 수행하는 레이저 발진기와, 어닐링 공정 중 상기 레이저광이 조사되는 상기 가공 대상물의 상변화를 통해 온도를 실시간으로 측정하는 온도 측정 유닛과, 상기 온도 측정유닛으로부터 측정된 온도 데이터와 미리 설정된 온도 데이터를 비교하여 상기 레이저 발진기로부터 출사되는 레이저광의 출력을 조절하는 제어부를 포함한다.
가공 대상물 상에 레이저광을 조사하여 어닐링 공정을 수행하는 레이저 발진기; 어닐링 공정 중 상기 레이저광이 조사되는 상기 가공 대상물의 상변화를 통해 온도를 실시간으로 측정하는 온도 측정 유닛; 상기 온도 측정유닛으로부터 측정된 온도 데이터와 미리 설정된 온도 데이터를 비교하여 상기 레이저 발진기로부터 출사되는 레이저광의 출력을 조절하는 제어부; 및상기 가공 대상물의 상변화에 따른 반사율의 변화를 검출하는 포토다이오드 및 상기 가공 대상물의 상변화에 따른 전기전도도의 변화를 검출하는 전기전도도 측정장치 중 적어도 하나;를 포함하는
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