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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0040778 (2012-04-19) | |
공개번호 | 10-2013-0117980 (2013-10-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120040778 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-04-19) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 반도체나 디스플레이 패널의 제조공정 중에 반도체나 디스플레이 패널에 점ㆍ부착 또는 증착, 기타 오염된 이물질을 제거하기 위한 세정방법 및 그 세정장치에 관한 것으로, 반도체 및 디스플레이 패널 제조공정용 세정장치에 있어서, 그 구성이 박리세정조, 박리막 수거장치, 수용성 고분자 코팅기, 코팅막 건조장치로 되어 있으며 수용성 고분자가 피세정물 표면에 미리 코팅된 피세정물이 오염되어 다시 세정장치로 돌아왔을 때 오염물을 순수 또는 산, 알카리 수용액 또는 극성 유기용매 등을 이용하여 용이하게 박리하는 방법 및 그 장치에 관한
반도체 및 디스플레이 패널 제조공정용 세정장치에 있어서, 박리세정조, 박리막 수거장치, 수용성 고분자 코팅장치, 코팅막 건조기로 구성된 세정장치.
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