초록

경량화되고, 왜곡 또는 변형이 방지되도록 한 기판 척킹장치가 개시된다.본 발명에 따른 기판 척킹장치는 제 1평판과, 상기 제 1평판으로부터 이격되는 제 2평판을 포함하며, 상기 제 1평판의 일면에 형성되어 상기 제 1평판의 일면에 기판이 흡착되도록 하는 진공홈과, 상기 제 1평판과 상기 제 2평판을 각각 관통하여 상기 진공홈에 연통되는 연결홀이 형성될 수 있다.

대표청구항 ▼

일면에 서로 연통되는 격자형태의 진공홈과 상기 진공홈의 적어도 한 개소에 연통되고 진공펌프에 연결되는 관이 삽입되는 연결홀이 형성되는 제 1평판과,상기 제 1평판으로부터 이격되는 제 2평판과,상기 제 1평판과 상기 제 2평판의 사이에 배치되는 제 3평판과,상기 제 1평판과 상기 제 3평판의 사이에 배치되어 상기 제 3평판으로부터 상기 제 1평판을 지지하는 제 1지지블록과,상기 제 2평판과 상기 제 3평판의 사이에 배치되어 상기 제 2평판으로부터 상기 제 3평판을 지지하는 제 2지지블록과,상기 제 1평판과 상기 제 3평판의 사이에 설

일면에 서로 연통되는 격자형태의 진공홈과 상기 진공홈의 적어도 한 개소에 연통되고 진공펌프에 연결되는 관이 삽입되는 연결홀이 형성되는 제 1평판과,상기 제 1평판으로부터 이격되는 제 2평판과,상기 제 1평판과 상기 제 2평판의 사이에 배치되는 제 3평판과,상기 제 1평판과 상기 제 3평판의 사이에 배치되어 상기 제 3평판으로부터 상기 제 1평판을 지지하는 제 1지지블록과,상기 제 2평판과 상기 제 3평판의 사이에 배치되어 상기 제 2평판으로부터 상기 제 3평판을 지지하는 제 2지지블록과,상기 제 1평판과 상기 제 3평판의 사이에 설치되어 상기 제 1평판과 상기 제 3평판의 간격을 유지시키는 몸체부와, 상기 몸체부로부터 연장되어 상기 제 1평판의 일면으로 돌출되어 기판을 점착 지지하는 점착부를 포함하는 척킹부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 척킹장치.