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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2006-0111241 (2006-11-10) | |
| 공개번호 | 10-2008-0042591 (2008-05-15) | |
| 등록번호 | 10-1362455-0000 (2014-02-03) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020060111241 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2011-10-20) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치는, 챔버 하부의 주변 영역에 설치된 다수개의 핀 플레이트를 이용하여 리프트 핀을 승강시킬 수 있도록 구성하고, 각 리프트 핀의 승강도 보다 안정적으로 이루어지도록 수직 가이드를 구비함과 아울러, 하나의 모터를 이용하여 전체 리프트 핀을 승강시킬 수 있도록 구성함으로써, 챔버 하부 공간의 레이아웃(Layout) 구성을 다양하게 변형하여 실시할 수 있고, 모터의 구동 제어를 간단히 함과 아울러, 모든 리프트 핀의 승강 작동도 보다 정확하게 이루어질 수 있도록 하는
기판 탑재 수단을 관통한 상태로 배치되어 기판을 승강시키는 복수의 리프트 핀과;상기 각 리프트 핀의 하단부가 각각 고정되어 있는 복수의 핀 플레이트와;상기 복수의 핀 플레이트에 링크 부재로 각각 연결되어 상기 복수의 핀 플레이트를 동시에 상하 이동시키는 구동 수단과;상기 핀 플레이트의 상하 이동을 안내하는 수직 가이드를 포함하며,상기 수직 가이드는 상기 탑재 수단과 상기 핀 플레이트에 각각 설치되어 상호 치합된 상태에서 상기 핀 플레이트의 상하 이동을 안내하는 랙과 피니언인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
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