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연합인증

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리프트 핀 어셈블리 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/687
  • H01L-021/68
출원번호 10-2007-0135131 (2007-12-21)
공개번호 10-2009-0067455 (2009-06-25)
등록번호 10-1404009-0000 (2014-05-29)
DOI http://doi.org/10.8080/1020070135131
발명자 / 주소
  • 유만호 / 경기 성남시 중원구 광명로***번길 **
  • 차안기 / 경기 군포시 금정동 ***-**
출원인 / 주소
  • 주성엔지니어링(주) / 경기도 광주시 오포읍 오포로 ***
대리인 / 주소
  • 특허법인네이트
심사청구여부 있음 (2012-09-26)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 기판 안치대로부터 기판을 분리하는 리프트 핀 어셈블리에 관한 것으로, 기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체; 상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

기판 안치대의 리프트 핀 홀을 관통하는 리프트 핀 몸체;상기 리프트 핀 몸체의 하부에 설치되며, 상기 리프트 핀 몸체와 연결되는 플레이트와 상기 리프트 핀 몸체의 외곽부와 대응되는 상기 플레이트의 하부에 설치되는 구름수단을 포함하는 위치보정수단을 포함하고,상기 위치보정수단의 상기 플레이트는, 상기 리프트 핀 몸체가 삽입되는 삽입구;상기 삽입구의 주위에서 상기 리프트 핀 몸체를 지지하는 지지체;상기 지지체와 연결되며, 상기 구름수단이 설치되는 접촉부재를 체결하기 위한 체결공;을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 어셈블리.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 마찰 저감용 롤러 글라이드를 포함한 리프트 핀 | 두보스트, 로렝, 헤르난데즈, 실바인, 예거, 한스, 랜드리, 카린, 바이넬, 베르트랑, 자포디뉴, 유진, 슈미트, 자끄, 엘 부히키, 레두앙
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