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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-7003079 (2013-02-05) | |
공개번호 | 10-2013-0137587 (2013-12-17) | |
등록번호 | 10-1811904-0000 (2017-12-18) | |
우선권정보 | 미국(US) 61/371,424 (2010-08-06) | |
국제출원번호 | PCT/US2011/045722 (2011-07-28) | |
국제공개번호 | WO 2012/018670 (2012-02-09) | |
번역문제출일자 | 2013-02-05 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020137003079 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-07-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
플라즈마 프로세싱 시스템에서 정전척 (ESC) 으로부터 전송된 무선 주파수 (RF) 전력을 필터하는 필터. 플라즈마 프로세싱 시스템은 ESC에 배치된 가열 엘리먼트를 포함할 수도 있다. 플라즈마 프로세싱 시스템은 전력 공급기를 더 포함할 수도 있다. 필터는 코어 부재와, 제 1 세트의 인덕터들을 형성하기 위해 코어 부재 주위에 코어 부재를 따라 감긴 케이블을 포함할 수도 있다. 케이블은, 제 1 와이어 및 제 2 와이어를 포함하는 복수의 와이어들을 포함할 수도 있으며, 제 1 와이어의 일 부분 및 제 2 와이어의 일 부분은 함께 꼬
플라즈마 프로세싱 시스템에서 적어도 정전척 (ESC) 으로부터 전송된 무선 주파수 (RF) 전력을 필터하는 필터에 있어서, 상기 플라즈마 프로세싱 시스템은 상기 ESC의 제 1 부분에 배치된 적어도 제 1 가열 엘리먼트를 포함하고, 상기 플라즈마 프로세싱 시스템은 적어도 전력 공급기를 더 포함하며, 상기 필터는, 제 1 코어 부재;적어도 제 1 캐패시터 및 제 2 캐패시터를 포함하는 제 1 복수의 캐패시터들; 및 제 1 세트의 인덕턴스들을 갖는 적어도 제 1 세트의 인덕터들을 형성하도록 상기 제 1 코어 부재의 적어도 제 1 부분
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