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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0061801 (2012-06-08) | |
공개번호 | 10-2013-0138026 (2013-12-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120061801 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-06-08) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 폴리실리콘의 증착 공정이 진행될 때 제품의 수율을 저하시키는 원인이 되는 다량의 실리콘 분말 등이 침착되는 것을 저지할 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는 전류에 공급에 따라 가열되며 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드와, 실리콘 코어로드를 외표면을 둘러싸며 실리콘 코어로드를 수용하는 수용홀을 형성하는 자켓유닛과, 자켓유닛의 상부에 배치되어 실리콘 코어로드를 외부로부터 차폐하는 실드부재를 포함하는 것을 특징으로
전류에 공급에 따라 가열되며, 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드와;상기 실리콘 코어로드를 외표면을 둘러싸며, 상기 실리콘 코어로드를 수용하는 수용홀을 형성하는 자켓유닛과;상기 자켓유닛의 상부에 배치되어, 상기 실리콘 코어로드를 외부로부터 차폐하는 실드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.
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