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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0134908 (2012-11-26) | |
등록번호 | 10-1301507-0000 (2013-08-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120134908 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-03-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체 제조장치용 히터 제조방법 및 그 방법에 따라 제조된 히터를 개시한다. 본 발명에 따라 제조된 히터는 감광성 필름 위에 패턴이 프린트된 필름을 접착하고, 그에 대해 자외선을 조사하여 감광성 필름이 히터 표면에 마스킹되도록 한 후, 그에 대한 마이크로 샌드 블라스팅을 통해 히터 표면에 엠보싱이 제각되도록 한다.
히터의 표면을 샌드 블라스팅기로 평탄하게 하는 제1단계;상기 평탄하게 된 히터 표면을 가열하는 제2단계;상기 평탄하게 되어 가열된 히터의 표면에 감광성 필름을 접착하는 제3단계;상기 감광성 필름 위에 프린트된 패턴 필름을 접착하는 제4단계;상기 패턴 필름이 접착된 감광성 필름에 자외선을 조사하여 재질을 딱딱하게 변화시키는 제5단계; 상기 패턴 필름을 흰색 부위와 검정색 부위로 구분 설정하여 자외선에 노출되는 흰색 부위와 노출되지 않는 검정색 부위의 재질이 다르게 변하도록 하고,상기 딱딱하게 변화된 감광성 필름을 스트립하는 제6단계;
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