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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0060269 (2019-05-22) | |
등록번호 | 10-2038799-0000 (2019-10-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190060269 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-05-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 질화알루미늄 세라믹히터의 재생 수리방법 및 그에 따른 질화알루미늄 세라믹히터에 관한 것으로, 반도체의 플라즈마 강화 기상증착(PE-CVD)의 제조공정에서 사용되는 질화알루미늄 세라믹히터의 재생 수리방법 및 그에 따른 질화알루미늄 세라믹히터에 관한 것이다. 본 발명은 질화알루미늄 세라믹히터의 상부면을 원형 그물망 형태의 금속 전극까지 전체적으로 절삭가공하는 제1과정; 절삭가공된 질화알루미늄 세라믹히터의 상부에 원형 그물망 형태의 금속 전극이 매설 소결된 질화알루미늄 레이어 플레이트를 접합제를 이용하여 접합하는 제2과정; 및
질화알루미늄 세라믹히터의 상부면을 원형 그물망 형태의 금속 전극까지 전체적으로 절삭가공하는 제1과정;상기 절삭가공된 질화알루미늄 세라믹히터의 상부에 원형 그물망 형태의 금속 전극이 매설 소결된 질화알루미늄 레이어 플레이트를 접합제를 이용하여 접합하는 제2과정; 및 상기 원형 그물망 형태의 금속 전극이 일체형으로 매설 소결되어 접합제를 통해 질화알루미늄 세라믹히터에 접합된 질화알루미늄 레이어 플레이트의 상면을 성형하는 제3과정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 세라믹히터의 재생 수리방법.
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