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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0010958 (2013-01-31) | |
공개번호 | 10-2014-0098399 (2014-08-08) | |
등록번호 | 10-1440418-0000 (2014-09-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130010958 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-01-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 반도체, LCD 설비 배관 내의 파우더의 퇴적을 방지하는 앤티-파우더 시스템에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 배관 내부에 쌓이는 파우더를 줄여 분해 세정 횟수를 감소시키고 펌프 정지의 문제점도 미리 막을 수 있어 반도체, LCD 설비의생산성 향상의 효과가 있다. 또한, 다양한 배관 사이즈와 직선형, L형 및 T형의 배관 형상에 다양하게 대응이 가능하며, 배관과의 밀착성이 높아 에너지효율향상에 의해 에너지 절약에 기여하는 효과가 있다.
배관 내의 파우더 퇴적을 방지하는 앤티-파우더 시스템에 있어서,가스가 공급 또는 배기되는 배관;하단이 상기 배관에 40° ~ 50°의 내각을 이루며 밀착되어 초음파를 발생시키는 초음파 발생부;상기 초음파발생부의 중단에 형성되어 초음파를 발생시키는 세라믹 피에조;상기 초음파 발생부의 상단에 결합되어 초음파 발생부를 전진 또는 후진시켜 상기 초음파 발생부의 초음파전달혼이 상기 배관에 밀착되도록 위치를 조절하는 위치조절부;상기 배관과 상기 초음파 발생부를 사이에 두고 양쪽에서 상기 배관, 초음파 발생부, 위치조절부를 고정하는 지그:를 포
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