최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
|
출원번호 | 10-2013-0015800 (2013-02-14) | |
등록번호 | 10-1278711-0000 (2013-06-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130015800 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2013-02-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 도금 공정 및 세척 고정이 일련의 자동화를 이뤄 도금 공정의 생산성(UPH)을 향상시킬 수 있고, 공정 장비의 소형화를 이룰 수 있는 반도체 웨이퍼 도금 장치 및 도금 방법을 제공한다. 또한, 본 발명의 일 실시예는 반도체 웨이퍼의 일면에 증착되는 Au합금을 Sn-Pb계열의 합금으로 대체하여, 생산 원가를 절감할 수 있는 반도체 웨이퍼 도금 장치 및 도금 방법을 제공한다.이를 위해 본 발명은 반도체 웨이퍼를 고정하는 지그, 상기 지그를 척킹하여 상/하 및 좌/우로 안내하는 피딩부, 상기 피딩부 하단에 배치되어, 상기 반도
반도체 웨이퍼를 고정하는 지그;상기 지그를 척킹하여 상/하 및 좌/우로 안내하는 피딩부;상기 피딩부 하단에 배치되어, 상기 반도체 웨이퍼에 도금을 행하는 도금조;상기 도금조에 인접하게 배치되어, 상기 반도체 웨이퍼를 세척하는 세척조; 및상기 도금조에 전해액을 공급하는 전해액 탱크 및 상기 세척조에 세척액을 공급하는 세척액 탱크를 구비하는 탱크부; 를 포함하고,상기 피딩부는 상기 반도체 웨이퍼에 음극을 인가하는 전류 인가부, 상기 지그를 척킹하는 척킹부 및 상기 척킹부에 토크를 전달하는 서보 모터를 포함하고,상기 도금조 및 상기 세척
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.