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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0034179 (2013-03-29) | |
공개번호 | 10-2014-0119904 (2014-10-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130034179 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-03-29) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 정전척 및 그 제조방법에 대한 것으로서, 보다 상세하게는, Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재 및 상기 금속 모재의 일면에 형성된 유전층을 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척 및 그 제조방법과 Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재; 상기 금속 모재 상에 형성된 제1 유전층; 상기 제1 유전층 상에 형성된 전극층; 및 상기 전극층 상에 형성된 제2 유전층을 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 정전척은 Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재에
Ni-Fe-Co 합금으로 이루어진 금속 모재 및 상기 금속 모재의 일면에 형성된 유전층을 포함하는 우수한 내열충격성을 가지는 정전척.
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