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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0022035 (2014-02-25) | |
등록번호 | 10-1387916-0000 (2014-04-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140022035 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-02-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 금속 모재; 상기 금속 모재의 상부에 형성된 유전층; 및 상기 유전층 내부에 구비되며 정전기력 발생 및 발열을 동시에 수행할 수 있는 전극층을 포함하는 히터 겸용 정전척에 관한 것으로서, 유전층 내에 위치한 전극층에 정전기력 발생용 고전압 전원 및 전극 가열용 저전압 전원을 동시에 연결하여, 단일 전극층에 의해 플라즈마 공정 도중 실리콘 웨이퍼를 고정시키고, 동시에 웨이퍼를 가열할 수 있는 기능을 구비한 히터 겸용 정전척에 관한 것이다.본 발명에 따른 히터 겸용 정전척은 별도의 부가 히터를 장착하지 않고 온도 조절이 가능
금속 모재; 상기 금속 모재의 상부에 형성된 유전층; 및 상기 유전층 내부에 구비되며 정전기력 발생 및 발열을 동시에 수행할 수 있는 전극층을 포함하고, 상기 전극층은 정전기력 발생용 고전압 전원 및 전극 가열용 저전압 전원을 포함하는 복합전원에 전기적으로 연결되며, 상기 정전기력 발생용 고전압 전원 및 상기 전극 가열용 저전압 전원 사이에 절연 변압기가 구비된 것을 특징으로 하는 히터 겸용 정전척.
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