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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0048573 (2005-06-07) |
공개번호 | 10-2006-0127527 (2006-12-13) |
등록번호 | 10-0731998-0000 (2007-06-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050048573 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-06-07) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명의 플라즈마 프로세스 챔버는 플라즈마 방전에 의한 공정이 수행될 작업편이 놓여지는 서셉터가 위치하는 하부챔버하우징과 하부챔버하우징의 상부에 위치하는 상부챔버하우징을 갖는 프로세스 챔버, 상부챔버하우징과 하부챔버하우징 사이에 결합되는 코어안착판을 구비한다. 코어안착판은 상부챔버하우징과 하부챔버하우징이 소통되도록 관통되는 적어도 두 개 이상의 관통홀과 상기 관통홀이 중심부로 통과하도록 코어안착판에 안착되는 적어도 두 개 이상의 페라이트 코어와 각 페라이트 코어에 감겨지고 RF 전원에 전기적으로 연결되는 권선을 포함하여 이웃한
플라즈마 방전에 의한 공정이 수행될 작업편이 놓여지는 서셉터가 위치하는 하부챔버하우징과 하부챔버하우징의 상부에 위치하는 상부챔버하우징을 갖는 프로세스 챔버;상부챔버하우징과 하부챔버하우징 사이에 결합되는 코어안착판을 포함하고,상기 코어안착판은 상부챔버하우징과 하부챔버하우징이 소통되도록 관통되는 적어도 두 개 이상의 관통홀과 상기 관통홀이 중심부로 통과하도록 코어안착판에 안착되는 적어도 두 개 이상의 페라이트 코어와 각 페라이트 코어에 감겨지고 RF 전원에 전기적으로 연결되는 권선을 포함하여,이웃한 관통홀들을 통하여 상부챔버하우징과 하
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