최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0125590 (2015-09-04) | |
공개번호 | 10-2017-0029061 (2017-03-15) | |
등록번호 | 10-1747692-0000 (2017-06-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150125590 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2015-09-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 유리 기판의 박막 영역을 노출시키는 플로팅 홀을 구비하는 플로팅 마스크와, 상기 플로팅 마스크의 상부에 위치하며, 상기 플로팅 마스크의 상면에서 상기 플로팅 홀의 주위 부분을 노출시키는 마스크 홀을 구비하는 마스크 쉴드와, 상기 마스크 쉴드의 마스크 상면에서 상기 마스크 홀의 외측에 전체적으로 사각 링 형상을 이루는 소정 높이의 벽체 형상으로 형성되는 마스크 사이드 쉴드 및 상기 마스크 쉴드의 상면으로부터 소정 높이로 이격되며, 상기 유리 기판과 대향하는 스퍼터링 타겟이 결합되는 그라운드 홀을 구비하는 그라운드 쉴드를 포
유리 기판(10)의 박막 영역을 노출시키는 플로팅 홀(110a)을 구비하는 플로팅 마스크(110)와,상기 플로팅 마스크(110)의 상부에 위치하며, 상기 플로팅 마스크(110)의 상면에서 상기 플로팅 홀(110a)의 주위 부분을 노출시키는 마스크 홀(120a)을 구비하는 마스크 쉴드(120)와,상기 마스크 쉴드(120)의 마스크 상면에서 상기 마스크 홀(120a)의 외측에 전체적으로 사각 링 형상을 이루는 소정 높이의 벽체 형상으로 형성되는 마스크 사이드 쉴드(130) 및상기 마스크 쉴드(120)의 상면으로부터 소정 높이로 이격되며
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.