IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 |
10-2013-0056916
(2013-05-21)
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등록번호 |
10-1293273-0000
(2013-07-30)
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DOI |
http://doi.org/10.8080/1020130056916
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발명자
/ 주소 |
- 이승현
/ 서울특별시 금천구 시흥대로**길 **-* ,***호(시흥동,조호럭스빌)
- 최대용
/ 경기도 부천시 원미구 상*동 , 라일락뜨란채Apt****-***
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출원인 / 주소 |
- 최대용 / 경기도 부천시 원미구 상*동 , 라일락뜨란채Apt****-***
- 이승현 / 서울특별시 금천구 시흥대로**길 **-* ,***호(시흥동,조호럭스빌)
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 |
있음 (2013-05-21) |
심사진행상태 |
등록결정(일반) |
법적상태 |
등록 |
초록
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본 발명은 로봇을 통해 이송배치된 웨이퍼를 고정한 후, 웨이퍼를 회전시킴으로써 웨이퍼에 형성된 노치를 탐색하여 위치정렬을 이루는 웨이퍼 프리얼라이너에 관한 것으로, 하판과, 상기 하판의 모서리에 수직방향으로 설치되는 지지대와, 관통홀을 형성하여 지지대의 상부에 고정설치되며 관통홀을 중심으로 120°의 등 간격으로 설치되는 백라이트를 구성한 중판과, 측면에 개구홀을 형성한 지지판을 통해 중판의 상측으로 이격설치되는 상판으로 이루어진 설치대; 상기 설치대의 하판에 고정설치되는 좌우이동작동부와, 전후이동작동부로 이루어진 수평이동작동부;
본 발명은 로봇을 통해 이송배치된 웨이퍼를 고정한 후, 웨이퍼를 회전시킴으로써 웨이퍼에 형성된 노치를 탐색하여 위치정렬을 이루는 웨이퍼 프리얼라이너에 관한 것으로, 하판과, 상기 하판의 모서리에 수직방향으로 설치되는 지지대와, 관통홀을 형성하여 지지대의 상부에 고정설치되며 관통홀을 중심으로 120°의 등 간격으로 설치되는 백라이트를 구성한 중판과, 측면에 개구홀을 형성한 지지판을 통해 중판의 상측으로 이격설치되는 상판으로 이루어진 설치대; 상기 설치대의 하판에 고정설치되는 좌우이동작동부와, 전후이동작동부로 이루어진 수평이동작동부; 상기 수평이동작동부에 고정설치되어 중판의 관통홀을 통해 상부로 돌출되되, 회전모터의 구동에 따라 회전작동하며 웨이퍼의 흡착고정을 위한 흡착홀이 형성된 회전안착대를 구성한 회전흡착작동부; 상기 설치대의 중판에 구성된 백라이트와 대응되는 위치의 상판에 고정설치되어 회전흡착작동부의 구동에 따라 회전작동하는 웨이퍼의 노치를 탐색하는 3개의 감지작동부;로 구성되되, 상기 좌우이동작동부는, 제1설치홀을 형성하여 하판에 고정설치되며, 이동홀을 좌우방향으로 형성한 고정설치판; 상기 고정설치판에 좌우방향으로 베어링결합되며, 제1설치홀에 대응되는 제2설치홀을 형성한 좌우이동판; 상기 고정설치판의 하면에 고정설치되는 제1모터와, 상기 제1모터의 제1축 끝단에 베어링결합되며 고정설치판의 하면에 고정설치되는 제1고정구와, 상기 제1축에 나사결합되는 제1너트부와, 상기 제1너트부에 고정결합된 상태로 고정설치판의 이동홀을 통해 좌우이동판의 하면에 고정결합되는 좌우이동브라켓으로 이루어진 좌우이동부;로 구성되고, 상기 전후이동작동부는, 상기 좌우이동작동부의 좌우이동판에 전후방향으로 베어링결합되며, 제2설치홀에 대응되는 제3설치홀을 형성한 전후이동판; 상기 좌우이동판의 상면에 고정설치되는 제2모터와, 상기 제2모터의 제2축 끝단에 베어링결합되며 좌우이동판의 상면에 고정설치되는 제2고정구와, 상기 제2축에 나사결합되는 제2너트부와, 상기 제2너트부에 고정결합된 상태로 전후이동판에 고정결합되는 전후이동브라켓으로 이루어진 전후이동부;로 구성된 것에 특징이 있다.그리고, 본 발명을 이용하면, 120°의 등 간격으로 이격되어 3개로 구성된 카메라를 통해 웨이퍼의 120°회전만으로 검사를 이룰 수 있을 뿐만 아니라, 카메라의 면 검사와 백라이트의 조명을 통해 광범위한 범위를 정밀하게 검사할 수 있으므로 웨이퍼의 회전속도를 빠르게 하여 신속정확한 검사는 물론, 웨이퍼의 정밀한 정렬배치를 이룰 수 있고, 수평이동작동부를 통해 웨이퍼가 흡착되어 회전작동하는 회전흡착작동부를 전,후,좌,우로 손쉽게 보정이동시킬 수 있으며, 감지작동부에 구성된 수평이동체와 승강이동체를 통해 카메라의 전,후,좌,우 이동과 더불어, 승강 이동을 이룰 수 있어 카메라의 위치보정을 용이하게 할 수 있게 된다.
대표청구항
▼
로봇을 통해 이송배치된 웨이퍼를 고정한 후, 웨이퍼를 회전시킴으로써 웨이퍼에 형성된 노치를 탐색하여 위치 정렬을 이루는 웨이퍼 프리얼라이너에 있어서,하판(11)과, 상기 하판(11)의 모서리에 수직방향으로 설치되는 지지대(12)와, 관통홀(13)을 형성하여 지지대(12)의 상부에 고정설치되며 관통홀(13)을 중심으로 120°의 등 간격으로 설치되는 백라이트(14)를 구성한 중판(15)과, 측면에 개구홀(16)을 형성한 지지판(17)을 통해 중판(15)의 상측으로 이격설치되는 상판(19)으로 이루어진 설치대(10);상기 설치대(10)
로봇을 통해 이송배치된 웨이퍼를 고정한 후, 웨이퍼를 회전시킴으로써 웨이퍼에 형성된 노치를 탐색하여 위치 정렬을 이루는 웨이퍼 프리얼라이너에 있어서,하판(11)과, 상기 하판(11)의 모서리에 수직방향으로 설치되는 지지대(12)와, 관통홀(13)을 형성하여 지지대(12)의 상부에 고정설치되며 관통홀(13)을 중심으로 120°의 등 간격으로 설치되는 백라이트(14)를 구성한 중판(15)과, 측면에 개구홀(16)을 형성한 지지판(17)을 통해 중판(15)의 상측으로 이격설치되는 상판(19)으로 이루어진 설치대(10);상기 설치대(10)의 하판(11)에 고정설치되는 좌우이동작동부(20)와, 전후이동작동부(30)로 이루어진 수평이동작동부(40);상기 수평이동작동부(40)에 고정설치되어 중판(15)의 관통홀(13)을 통해 상부로 돌출되되, 회전모터(51)의 구동에 따라 회전작동하며 웨이퍼의 흡착고정을 위한 흡착홀(55)이 형성된 회전안착대(57)를 구성한 회전흡착작동부(50);상기 설치대(10)의 중판(15)에 구성된 백라이트(14)와 대응되는 위치의 상판(19)에 고정설치되어 회전흡착작동부(50)의 구동에 따라 회전작동하는 웨이퍼의 노치를 탐색하는 3개의 감지작동부(70);로 구성되되,상기 좌우이동작동부(20)는,제1설치홀(21)을 형성하여 하판(11)에 고정설치되며, 이동홀(22a)을 좌우방향으로 형성한 고정설치판(22);상기 고정설치판(22)에 좌우방향으로 베어링(B)결합되며, 제1설치홀(21)에 대응되는 제2설치홀(23)을 형성한 좌우이동판(24);상기 고정설치판(22)의 하면에 고정설치되는 제1모터(25)와, 상기 제1모터(25)의 제1축(25a) 끝단에 베어링결합되며 고정설치판(22)의 하면에 고정설치되는 제1고정구(26)와, 상기 제1축(25a)에 나사결합되는 제1너트부(27)와, 상기 제1너트부(27)에 고정결합된 상태로 고정설치판(22)의 이동홀(22a)을 통해 좌우이동판(24)의 하면에 고정결합되는 좌우이동브라켓(28)으로 이루어진 좌우이동부(29);로 구성되고,상기 전후이동작동부(30)는,상기 좌우이동작동부(20)의 좌우이동판(24)에 전후방향으로 베어링(B)결합되며, 제2설치홀(23)에 대응되는 제3설치홀(33)을 형성한 전후이동판(34);상기 좌우이동판(24)의 상면에 고정설치되는 제2모터(35)와, 상기 제2모터(35)의 제2축(35a) 끝단에 베어링결합되며 좌우이동판(24)의 상면에 고정설치되는 제2고정구(36)와, 상기 제2축(35a)에 나사결합되는 제2너트부(37)와, 상기 제2너트부(37)에 고정결합된 상태로 전후이동판(34)에 고정결합되는 전후이동브라켓(38)으로 이루어진 전후이동부(39);로 구성된 것에 특징이 있는 웨이퍼 프리얼라이너.
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