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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0112919 (2013-09-23) | |
공개번호 | 10-2014-0038909 (2014-03-31) | |
등록번호 | 10-2175521-0000 (2020-11-02) | |
우선권정보 | 미국(US) 13/624,822 (2012-09-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130112919 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-08-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
정전척으로부터 에폭시 밴드를 제거하는 방법은, 서비싱 픽스처에 정전척을 고정시키는 단계, 정전척에 에폭시 밴드를 고정시키는 복수의 접착 접합부들을 파괴시키기 위해 에폭시 밴드에 열 공급부를 적용하는 단계, 에폭시 밴드에 구멍을 형성하는 단계, 및 정전척으로부터 에폭시 밴드를 뽑아내는 단계를 포함한다.정적척으로부터 에폭시 밴드를 제거하기 위한 시스템이 또한 설명된다.
정전척으로부터 에폭시 밴드 (band) 를 제거하는 방법으로서,서비싱 픽스처 (servicing fixture) 에 상기 정전척을 고정시키는 단계;상기 정전척에 상기 에폭시 밴드를 고정시키는 복수의 접착 접합부들을 파괴시키기 위해 상기 에폭시 밴드에 열 공급부를 적용하는 단계;상기 에폭시 밴드에 툴을 삽입하기 위한 구멍을 형성하는 단계; 및상기 툴을 사용하고, 상기 구멍에 상기 툴을 삽입함으로써, 상기 정전척으로부터 상기 에폭시 밴드를 뽑아내는 (pull) 단계를 포함하는, 정전척으로부터 에폭시 밴드를 제거하는 방법.
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