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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0131723 (2013-10-31) | |
등록번호 | 10-1468184-0000 (2014-11-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130131723 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-10-31) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 고순도 플레이트를 사용하면서 온도 균일도를 향상시킬 수 있는 히터가 구비된 정전척 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태에 따른 히터가 구비된 정전척은 하면에 전극이 인쇄된 상판 플레이트와; 하면의 중앙부분을 둘러싸도록 하면의 가장자리에서 하부방향으로 연장되는 차단링부가 형성되고, 상면이 제 1 접합층을 매개로 상기 상판 플레이트의 하면에 접합되는 하판 플레이트와; 상면에 히터가 인쇄되고, 상기 하판 플레이트의 차단링부에 의해 둘러싸이는 내부영역에 제 2 접합층을 매개로 접착되는 히터 플레이트를 포함한다
하면에 전극이 인쇄된 상판 플레이트와;하면의 중앙부분을 둘러싸도록 하면의 가장자리에서 하부방향으로 연장되는 차단링부가 형성되고, 상면이 제 1 접합층을 매개로 상기 상판 플레이트의 하면에 접합되는 하판 플레이트와;상면에 히터가 인쇄되고, 상기 하판 플레이트의 차단링부에 의해 둘러싸이는 내부영역에 제 2 접합층을 매개로 접착되는 히터 플레이트를 포함하고,상기 상판 플레이트 및 하판 플레이트는 Al2O3를 90.0 ~ 99.9wt% 함유하는 Al2O3계 소재이고,상기 히터 플레이트는 상기 Al2O3계 소재보다 열전도성이 높은 세라믹 소
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