초록

본 발명은 히터에서 발생된 열의 확산을 향상시켜 온도 균일도를 안정적으로 유지시킬 수 있는 히터가 구비된 정전척 및 그 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 일 실시형태에 따른 히터가 구비된 정전척은 기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서, 내부에 전극이 내장되는 유전체와; 상기 유전체의 하면에 형성되는 히터 패턴과; 상기 히터 패턴을 덮으면서 상기 유전체의 하면에 소결되어 형성되는 열확산 실링층과; 본딩층을 매개로 상기 열확산 실링층의 하면에 접합되는 베이스 바디를 포함한다.

대표청구항 ▼

기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서,내부에 전극이 내장되는 유전체와;상기 유전체의 하면에 형성되는 히터 패턴과;상기 히터 패턴을 덮으면서 상기 유전체의 하면에 소결되어 형성되는 열확산 실링층과;본딩층을 매개로 상기 열확산 실링층의 하면에 접합되는 베이스 바디를 포함하고,상기 열확산 실링층은 중량%로, C: 5 ~ 15%, O: 20 ~ 45%, Al: 5 ~ 20%, Si: 25 ~ 35%, K: 0.5 ~ 2.0%, Ba: 10.0% 이하가 되도록 SiO2를 포함하는 유리형성제, K2O를 포함하는 용융촉

기판 처리 장치의 내부에 구비되어 기판이 안치되는 정전척으로서,내부에 전극이 내장되는 유전체와;상기 유전체의 하면에 형성되는 히터 패턴과;상기 히터 패턴을 덮으면서 상기 유전체의 하면에 소결되어 형성되는 열확산 실링층과;본딩층을 매개로 상기 열확산 실링층의 하면에 접합되는 베이스 바디를 포함하고,상기 열확산 실링층은 중량%로, C: 5 ~ 15%, O: 20 ~ 45%, Al: 5 ~ 20%, Si: 25 ~ 35%, K: 0.5 ~ 2.0%, Ba: 10.0% 이하가 되도록 SiO2를 포함하는 유리형성제, K2O를 포함하는 용융촉진제 및 Al2O3 및 BaO 중 적어도 어느 하나를 포함하는 안정화제를 혼합한 실링혼합물을 소결시켜 형성하는 것을 특징으로 하는 히터가 구비된 정전척.