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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0136328 (2013-11-11) | |
공개번호 | 10-2015-0030131 (2015-03-19) | |
등록번호 | 10-2194898-0000 (2020-12-18) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020130107875 (2013-09-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130136328 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 열처리 챔버에 사용되는 도어, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 기판 열처리 장치를 개시한다.본 발명에 따른 기판 열처리 챔버에 사용되는 도어는 상기 기판 열처리 챔버의 상부 하우징 및 하부 하우징에 개폐 가능하게 제공되는 셔터 플레이트; 상기 셔터 플레이트가 회동 가능하게 고정되는 회동 샤프트; 상기 셔터 플레이트의 내측에 제공되는 고정 블록; 상기 고정 블록 내에 고정 장착되는 도어 히터; 상기 고정 블록을 상기 셔터 플레이트에 고정 장착시키는 복수의 체결 부재; 및 상기 도어 히터 및 상기 고정 블록을 감싸
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