초록 ▼

본 발명은 챔버 본체에 적어도 2개의 배출 영역으로 구분되도록 형성되는 배출부에 결합되며, 상기 배출 영역의 적어도 어느 하나가 선택적으로 개방되도록 상기 배출부를 차단하는 상부 반사 셔터 및 하부 반사 셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 셔터 및적어도 한 장의 유리 기판이 적층되어 단위 적층 높이를 갖는 단위 적층층이 적어도 2개 층으로 적층되는 열처리 공간을 구비하며, 일측에 상기 단위 적층층들의 단위 적층 높이의 합인 전체 적층 높이보다 큰 높이로 형성되어 적어도 상기 단위 적층 높이에 대응되는 배출 영역 높이를 갖는 적

본 발명은 챔버 본체에 적어도 2개의 배출 영역으로 구분되도록 형성되는 배출부에 결합되며, 상기 배출 영역의 적어도 어느 하나가 선택적으로 개방되도록 상기 배출부를 차단하는 상부 반사 셔터 및 하부 반사 셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 셔터 및적어도 한 장의 유리 기판이 적층되어 단위 적층 높이를 갖는 단위 적층층이 적어도 2개 층으로 적층되는 열처리 공간을 구비하며, 일측에 상기 단위 적층층들의 단위 적층 높이의 합인 전체 적층 높이보다 큰 높이로 형성되어 적어도 상기 단위 적층 높이에 대응되는 배출 영역 높이를 갖는 적어도 2개의 배출 영역으로 구분되는 배출부를 구비하는 챔버 본체와, 상기 배출부의 면적보다 큰 면적을 가지도록 형성되며, 유리 기판이 열처리될 때 상기 배출부를 차단하는 메인 셔터 및 상기 메인 셔터가 상기 배출부를 개방할 때, 상하로 이동하여 상기 배출 영역의 어느 하나가 선택적으로 개방되도록 상기 배출부를 차단하여 챔버 내부의 열에너지 손실을 저감하는 적어도 2 개의 단위 반사 셔터를 포함하는 반사 셔터를 구비한 열처리 장치를 개시한다.

대표청구항 ▼

유리 기판이 장입 또는 배출되는 배출부를 구비하는 챔버 본체의 열처리 공간에서 상기 유리 기판이 열처리되는 동안에 상기 배출부를 차단하는 메인 셔터가 이송되어 상기 배출부가 개방될 때, 상기 메인셔터에 의하여 개방된 상기 배출부를 차단한 후, 상기 유리 기판이 장입 또는 배출될 때 상기 배출부를 개방하며, 상기 배출부와 대향하는 면에 복사에너지를 반사하는 반사판을 구비하는 반사 셔터에 있어서,상기 반사 셔터는 한 개로 형성되고,상기 반사 셔터는 상단부 또는 하단부를 중심으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하여 상기 배출부를 개

유리 기판이 장입 또는 배출되는 배출부를 구비하는 챔버 본체의 열처리 공간에서 상기 유리 기판이 열처리되는 동안에 상기 배출부를 차단하는 메인 셔터가 이송되어 상기 배출부가 개방될 때, 상기 메인셔터에 의하여 개방된 상기 배출부를 차단한 후, 상기 유리 기판이 장입 또는 배출될 때 상기 배출부를 개방하며, 상기 배출부와 대향하는 면에 복사에너지를 반사하는 반사판을 구비하는 반사 셔터에 있어서,상기 반사 셔터는 한 개로 형성되고,상기 반사 셔터는 상단부 또는 하단부를 중심으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하여 상기 배출부를 개방하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반사 셔터.