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연합인증

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[한국특허] 기판 열처리 챔버에 사용되는 도어, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 기판 열처리 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/324
  • H01L-021/67
출원번호 10-2013-0136328 (2013-11-11)
공개번호 10-2015-0030131 (2015-03-19)
등록번호 10-2194898-0000 (2020-12-18)
우선권정보 대한민국(KR) 1020130107875 (2013-09-09)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130136328
발명자 / 주소
  • 서석원 / 경기 광주시 초월읍 경충대로 ****, ***동 ****호 (롯데낙천대아파트)
  • 서태헌 / 경기도 용인시 처인구 이동면 백옥대로***번길 * ***동 ****호 (천리,신미주아파트)
  • 정좌진 / 경기 과천시 관문로 ***, 래미안 에코팰리스 ****-*** (중앙동)
  • 이장혁 / 경기 안산시 단원구 초지*로 **, ****동 ***호 (초지동, 그린빌주공**단지)
출원인 / 주소
  • 주식회사 나래나노텍 / 경기도 용인시 처인구 이동면 백옥대로 ***
대리인 / 주소
  • 윤앤리특허법인(유한)
심사청구여부 있음 (2018-11-09)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 기판 열처리 챔버에 사용되는 도어, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 기판 열처리 장치를 개시한다.본 발명에 따른 기판 열처리 챔버에 사용되는 도어는 상기 기판 열처리 챔버의 상부 하우징 및 하부 하우징에 개폐 가능하게 제공되는 셔터 플레이트; 상기 셔터 플레이트가 회동 가능하게 고정되는 회동 샤프트; 상기 셔터 플레이트의 내측에 제공되는 고정 블록; 상기 고정 블록 내에 고정 장착되는 도어 히터; 상기 고정 블록을 상기 셔터 플레이트에 고정 장착시키는 복수의 체결 부재; 및 상기 도어 히터 및 상기 고정 블록을 감싸

대표청구항

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발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 열처리 장치 및 그 제어 방법 | 오고세 케이
  2. [한국] CIGS층 형성장치 | 이경호, 정순빈

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. [한국] 국소배기 유닛 및 이를 포함하는 열처리 장치 | 김동연
  2. [한국] 열처리 장치 | 김동연, 한연수
  3. [한국] 개선된 열처리용 기판 지지 장치, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 장치 | 조호성, 황재정
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