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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0152097 (2013-12-09) | |
공개번호 | 10-2015-0071719 (2015-06-29) | |
등록번호 | 10-1618662-0000 (2016-04-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130152097 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-12-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 분산제 및 이를 포함하는 연마 슬러리에 관한 것으로서, 본 발명의 분산제 및 이를 포함하는 연마 슬러리를 연마 공정을 수행하면, 사이드 체인(side chain) 형태의 방향족 탄화수소 공중합체를 이용함으로써 고단차 영역에서는 높은 연마율을 가지며, 저단차 영역에서는 낮은 연마율을 가져 우수한 평탄도를 나타낸다.또한, 산화막에 흡착성이 높아 산화막의 연마율이 높으며, 결함 및 스트레치를 억제할 수 있다.
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