초록 ▼

본 발명은 케미컬 탱크의 기포 제거장치에 관한 것으로, 케미컬을 저장하는 탱크부와, 상기 탱크부에 저장된 케미컬을 순환관을 통해 순환시키는 순환펌프와, 공정 배스에서 사용된 케미컬을 드레인하되, 상기 순환펌프의 출구단측으로 1차 드레인시켜, 공기가 분리되기 전 케미컬을 수용하는 드레인관과, 상기 순환펌프의 압력에 의해 상기 드레인관에 수용된 케미컬의 수위가 상승할 때 상기 케미컬의 상부에 모인 공기를 배기하는 배기관과, 상기 드레인관에 마련되어 케미컬의 드레인과 배기 상태를 조절하는 제1밸브 및 제2밸브와, 상기 순환관에 마련되어

본 발명은 케미컬 탱크의 기포 제거장치에 관한 것으로, 케미컬을 저장하는 탱크부와, 상기 탱크부에 저장된 케미컬을 순환관을 통해 순환시키는 순환펌프와, 공정 배스에서 사용된 케미컬을 드레인하되, 상기 순환펌프의 출구단측으로 1차 드레인시켜, 공기가 분리되기 전 케미컬을 수용하는 드레인관과, 상기 순환펌프의 압력에 의해 상기 드레인관에 수용된 케미컬의 수위가 상승할 때 상기 케미컬의 상부에 모인 공기를 배기하는 배기관과, 상기 드레인관에 마련되어 케미컬의 드레인과 배기 상태를 조절하는 제1밸브 및 제2밸브와, 상기 순환관에 마련되어 탱크부 내의 케미컬의 순환을 조절하는 제3밸브와, 상기 배기관에 마련되어 상기 기포의 배기를 조절하는 제4밸브를 포함한다. 본 발명은 순환펌프의 압력을 이용하여 드레인되는 케미컬에서 공기를 분리하고, 특정 조건에서 분리된 공기를 외부로 배출시킴으로써, 케미컬에서 공기를 분리하는 분리제거율을 높일 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

케미컬을 저장하는 탱크부;상기 탱크부에 저장된 케미컬을 순환관을 통해 순환시키는 순환펌프;공정 배스에서 사용된 케미컬을 드레인하되, 상기 순환펌프의 출구단측으로 1차 드레인시켜, 기포가 분리되기 전 케미컬을 수용하는 드레인관;상기 순환펌프의 압력에 의해 상기 드레인관에 수용된 케미컬의 수위가 상승할 때 상기 케미컬의 상부에 모인 기포를 배기하는 배기관;상기 드레인관에 마련되어 케미컬의 드레인과 배기 상태를 조절하는 제1밸브와 제2밸브;상기 순환관에 마련되어 탱크부 내의 케미컬의 순환을 조절하는 제3밸브; 및상기 배기관에 마련되어 상

케미컬을 저장하는 탱크부;상기 탱크부에 저장된 케미컬을 순환관을 통해 순환시키는 순환펌프;공정 배스에서 사용된 케미컬을 드레인하되, 상기 순환펌프의 출구단측으로 1차 드레인시켜, 기포가 분리되기 전 케미컬을 수용하는 드레인관;상기 순환펌프의 압력에 의해 상기 드레인관에 수용된 케미컬의 수위가 상승할 때 상기 케미컬의 상부에 모인 기포를 배기하는 배기관;상기 드레인관에 마련되어 케미컬의 드레인과 배기 상태를 조절하는 제1밸브와 제2밸브;상기 순환관에 마련되어 탱크부 내의 케미컬의 순환을 조절하는 제3밸브; 및상기 배기관에 마련되어 상기 기포의 배기를 조절하는 제4밸브를 포함하되,상기 제1밸브와 제2밸브가 열린 상태이며, 상기 제3밸브와 상기 제4밸브가 닫힌 상태에서 상기 공정 배스의 케미컬이 상기 드레인관에 채워진 후,상기 제1밸브와 제3밸브가 닫힌 상태이며, 상기 제2밸브와 상기 제4밸브가 열린 상태에서, 상기 순환펌프의 동작에 의해 상기 드레인관에 채워진 케미컬에 압력을 가하여 상기 배기관을 통해 상기 기포를 배기하는 것을 특징으로 하는 케미컬 탱크의 기포 제거장치.