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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0010130 (2014-01-28) | |
등록번호 | 10-1434284-0000 (2014-08-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140010130 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-01-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 포토레지스트 박리액 조성물에 관한 것으로서, 본 발명은 포토레지스트에 대한 우수한 박리 성능과 구리와 알루미늄 모두에 대한 부식 억제 성능을 향상시키기 위하여, 선택적으로 혼용된 아민류와 솔케탈을 극성용제로 포함하는 포토레지스트 박리액 조성물을 제공한다.
(2,2-디메틸-1,3-디옥솔란-4-일)메탄올이 함유된 극성용제; 및2차 아민류와 3차 아민류로 이루어진 유기용제;를 포함하며,상기 2차 아민류와 3차 아민류의 중량비는 1.1: 1 내지 4: 1인 것을 특징으로 하는 포토레지스트 박리액 조성물.
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