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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0034113 (2014-03-24) | |
등록번호 | 10-1541051-0000 (2015-07-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140034113 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-03-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 다층 전극 구조를 갖는 정전척의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다층 전극 구조를 갖는 정전척에 관한 것으로, 내부에 주전극이 내장된 세라믹 그린 시트의 일부를 제거하는 단계(단계 1); 상기 세라믹 그린 시트의 일부가 제거된 부분에 전극 메탈 paste를 충진하는 단계(단계 2); 상기 충진된 전극 메탈 paste에 원기둥 세라믹 그린 시트를 삽입하는 단계(단계 3); 상기 원기둥 세라믹 그린 시트의 상층 주위에 전극패턴을 구비하는 단계(단계 4); 상기 전극패턴이 구비된 세라믹 그린 시트 위에 새로운 세라믹 그린 시트를
내부에 주전극이 내장된 세라믹 그린 시트의 일부를 제거하는 단계(단계 1);상기 세라믹 그린 시트의 일부가 제거된 부분에 전극 메탈 paste를 충진하는 단계(단계 2);상기 충진된 전극 메탈 paste에 원기둥 세라믹 그린 시트를 삽입하는 단계(단계 3);상기 원기둥 세라믹 그린 시트의 상층 주위에 전극패턴을 구비하는 단계(단계 4); 상기 전극패턴이 구비된 세라믹 그린 시트 위에 새로운 세라믹 그린 시트를 적층한 이후에, 상기 단계 1 내지 단계 4의 공정을 수행하는 단계(단계 5);상기 적층된 세라믹 그린 시트를 가압하고 소결
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