초록

정전척 히터는, 정전척과, 소형 히터 전극이 배선된 소형 존을 복수개 갖는 소형 존 형성 영역과, 복수의 소형 히터 전극이 병렬 접속된 전원과, 각 소형 히터 전극에 대응한 공급 가능한 출력에 대한 출력 비율을 이용하여 원하는 전력이 각 소형 히터 전극에 공급되도록 제어하는 소형 존 제어 장치를 구비하고 있다. 복수의 소형 히터 전극 중 쿨스팟을 포함하는 소형 존에 배선된 소형 히터 전극의 저항치는, 다른 소형 히터 전극에 비교해서 낮게 설정되어 있다.

대표청구항 ▼

정전척 히터에 있어서,세라믹스 소결체에 정전 전극이 매설된 정전척과,상기 세라믹스 소결체의 내부 또는 상기 세라믹스 소결체에 일체화된 히터 유지체의 내부에 설치되고, 소형 히터 전극이 배선된 소형 존을 복수개 갖는 소형 존 형성 영역과,복수의 상기 소형 히터 전극이 병렬 접속된 전원과,각 소형 히터 전극에 대응한 공급 가능한 출력에 대한 출력 비율을 이용하여 원하는 전력이 각 소형 히터 전극에 공급되도록 제어하는 소형 존 제어 장치를 포함하고,복수의 상기 소형 히터 전극 중 쿨스팟을 포함하는 소형 존에 배선된 소형 히터 전극의 저항

정전척 히터에 있어서,세라믹스 소결체에 정전 전극이 매설된 정전척과,상기 세라믹스 소결체의 내부 또는 상기 세라믹스 소결체에 일체화된 히터 유지체의 내부에 설치되고, 소형 히터 전극이 배선된 소형 존을 복수개 갖는 소형 존 형성 영역과,복수의 상기 소형 히터 전극이 병렬 접속된 전원과,각 소형 히터 전극에 대응한 공급 가능한 출력에 대한 출력 비율을 이용하여 원하는 전력이 각 소형 히터 전극에 공급되도록 제어하는 소형 존 제어 장치를 포함하고,복수의 상기 소형 히터 전극 중 쿨스팟을 포함하는 소형 존에 배선된 소형 히터 전극의 저항치는, 다른 소형 히터 전극에 비교해서 낮게 설정되어 있는 것인 정전척 히터.