초록 ▼

본 발명은 기판의 열처리 장치에 관한 것으로서, 기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부와, 이 챔버부에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부와, 이 셔터부를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 챔버부의 출입구를 회전구동부에 의해 상하로 슬라이딩되는 셔터부에 의해 개폐함으로써, 출입구의 개폐공간을 최소화하고 출입구의 개폐시간을 단축시켜 챔버부의 열손실을 감소시키는 동시에 챔버부의 열처리 효율을 향

본 발명은 기판의 열처리 장치에 관한 것으로서, 기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부와, 이 챔버부에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부와, 이 셔터부를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 챔버부의 출입구를 회전구동부에 의해 상하로 슬라이딩되는 셔터부에 의해 개폐함으로써, 출입구의 개폐공간을 최소화하고 출입구의 개폐시간을 단축시켜 챔버부의 열손실을 감소시키는 동시에 챔버부의 열처리 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

대표청구항 ▼

기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부(10);상기 챔버부(10)에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부(20); 및상기 셔터부(20)를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부(30);를 포함하고,상기 회전구동부(30)는, 상기 셔터부(20)에 개폐구동력을 제공하는 회전구동부재; 및상기 회전구동부재의 회전구동력을 전달받아 상기 셔터부(20)의 상부 셔터와 하부 셔터를 동시에 슬라이딩시키도록 변환해서 전달하는 볼스크류부재;를 포함하고,상기 볼스크류부

기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부(10);상기 챔버부(10)에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부(20); 및상기 셔터부(20)를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부(30);를 포함하고,상기 회전구동부(30)는, 상기 셔터부(20)에 개폐구동력을 제공하는 회전구동부재; 및상기 회전구동부재의 회전구동력을 전달받아 상기 셔터부(20)의 상부 셔터와 하부 셔터를 동시에 슬라이딩시키도록 변환해서 전달하는 볼스크류부재;를 포함하고,상기 볼스크류부재는, 상기 회전구동부재의 회전단에 설치된 감속기; 상기 감속기의 상부 출력단에 연결된 제1 볼스크류;상기 감속기의 하부 출력단에 연결된 제2 볼스크류;상기 제1 볼스크류의 회전축을 따라 상하로 승강되며 상기 상부 셔터가 결합된 제1 승강플레이트; 및상기 제2 볼스크류의 회전축을 따라 상기 제1 승강플레이트와 반대방향으로 승강되며 상기 하부 셔터가 결합된 제2 승강플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 장치.