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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0110823 (2014-08-25) | |
공개번호 | 10-2016-0024234 (2016-03-04) | |
등록번호 | 10-1641855-0000 (2016-07-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140110823 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-08-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 공정 폐가스 처리용 스크러버에 관한 것으로, 플라즈마를 공정 폐가스와 접촉시켜 상기 공정 폐가스를 분해하는 플라즈마 처리부와, 상기 플라즈마 처리부에서 분해되어 유입되는 상기 공정 폐가스를 냉각시켜 반응 부산물을 포집하는 냉각부 및 상기 냉각부로부터 상기 공정 폐가스가 유입되며 내부가 중공인 반응 하우징 및 상기 반응 하우징의 내부에서 위치하며 상기 공정 폐가스와 접촉하는 우레아 입자층을 구비하는 반응부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 폐가스 처리용 스크러버를 개시한다.
물을 사용하지 않고 공정 폐가스에 포함되어 있는 할로겐화 수소화합물을 포함하는 수용성 가스를 제거하는 공정 폐가스 처리용 스크러버로서,플라즈마를 상기 공정 폐가스와 접촉시켜 상기 공정 폐가스를 분해하는 플라즈마 처리부와,상기 플라즈마 처리부에서 분해되어 유입되는 상기 공정 폐가스를 냉각시켜 반응 부산물을 포집하는 냉각부 및상기 냉각부로부터 상기 공정 폐가스가 유입되며 내부가 중공인 반응 하우징 및 상기 반응 하우징의 내부에서 위치하며 상기 공정 폐가스와 접촉하는 우레아 입자층을 구비하는 반응부를 포함하며,상기 냉각부는플라즈마 처리부
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