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공정 폐가스 처리용 스크러버 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
  • H05H-001/46
출원번호 10-2014-0110823 (2014-08-25)
공개번호 10-2016-0024234 (2016-03-04)
등록번호 10-1641855-0000 (2016-07-17)
DOI http://doi.org/10.8080/1020140110823
발명자 / 주소
  • 박상순 / 경기도 성남시 분당구 운중로***번길 *-* (운중동)
출원인 / 주소
  • 주식회사 지앤비에스엔지니어링 / 경기도 안성시 대덕면 모산로 ***-**
대리인 / 주소
  • 김호종
심사청구여부 있음 (2014-08-25)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 공정 폐가스 처리용 스크러버에 관한 것으로, 플라즈마를 공정 폐가스와 접촉시켜 상기 공정 폐가스를 분해하는 플라즈마 처리부와, 상기 플라즈마 처리부에서 분해되어 유입되는 상기 공정 폐가스를 냉각시켜 반응 부산물을 포집하는 냉각부 및 상기 냉각부로부터 상기 공정 폐가스가 유입되며 내부가 중공인 반응 하우징 및 상기 반응 하우징의 내부에서 위치하며 상기 공정 폐가스와 접촉하는 우레아 입자층을 구비하는 반응부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 폐가스 처리용 스크러버를 개시한다.

대표청구항

물을 사용하지 않고 공정 폐가스에 포함되어 있는 할로겐화 수소화합물을 포함하는 수용성 가스를 제거하는 공정 폐가스 처리용 스크러버로서,플라즈마를 상기 공정 폐가스와 접촉시켜 상기 공정 폐가스를 분해하는 플라즈마 처리부와,상기 플라즈마 처리부에서 분해되어 유입되는 상기 공정 폐가스를 냉각시켜 반응 부산물을 포집하는 냉각부 및상기 냉각부로부터 상기 공정 폐가스가 유입되며 내부가 중공인 반응 하우징 및 상기 반응 하우징의 내부에서 위치하며 상기 공정 폐가스와 접촉하는 우레아 입자층을 구비하는 반응부를 포함하며,상기 냉각부는플라즈마 처리부

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [한국] 공정 폐가스 처리용 스크러버 | 박상순, 정종문
  2. [일본] TREATING AGENT AND TREATING METHOD OF WASTE GAS CONTAINING ACID GAS AND/OR HYDROCARBON | FUKUSHIMA MORIYUKI, ABE MASANORI, MOGI EISAKU
  3. [일본] DEODORIZATION SHEET AND HONEYCOMB FILTER | HASHIDA ISAO, NAKAJIMA HIROSHI, ITO HIRONARI, TSUJIMOTO MASASHI
  4. [국제] PROCESS FOR TREATMENT OF EXHAUST GAS CONTAINING BOTH SILANE GAS AND FLUORINE GAS AND EXHASUT GAS TREATMENT FACILITY FOR THE PROCESS | MATSUSHITA YOSHINARI, TSUKADA TSUTOMU, MATSUI TAKAYUKI, KAWAMURA TOKIZO, BEPPU TATSURO, INOUE YOSHIHIKO, IMAMURA HIROSHI

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 플라즈마 스크러버 장치 | 오윤학, 윤태상, 박재성, 정성운, 정의순, 조광득, 김홍직
  2. [한국] 집진 장치 | 김태우, 한상빈
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