[특허]실리콘산화막 및 실리콘질화막 에칭액 조성물

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/08 H01L-021/306
출원번호	10-2014-0116817 (2014-09-03)
공개번호	10-2016-0028152 (2016-03-11)
등록번호	10-1757639-0000 (2017-07-07)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020140116817
발명자 / 주소	이명호 / 충청남도 아산시 문화로 *, 동 *호 (모종동, 모종e편한세상아파트) 정태수 / 충청남도 아산시 신창면 서부북로 -, 호 문재웅 / 충청남도 아산시 남부로 , 동 호 (풍기동, 동일하이빌아파트) 김동현 / 강원도 원주시 흥업면 북원로 , 동 호 (남원주 두산위브아파트) 강교원 / 인천광역시 남동구 청능대로번길 , *동 **호 (논현동, 소래풍림아파트)
출원인 / 주소	주식회사 이엔에프테크놀로지 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로번길 (공세동)
대리인 / 주소	김애라
심사청구여부	있음 (2014-09-03)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 실리콘산화막과 실리콘질화막의 동시 식각에 유용한 에칭액에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 에칭액은 불소화합물, 질소원자를 2개 이상 포함하고 있는 아민계 포화화합물 및 물을 포함하는 것을 특징으로 한다. 실리콘산화막과 실리콘질화막의 식각 속도 차이를 줄여 균일한 식각이 가능하며, 그 결과 절연막의 패턴 형성시 실리콘산화막의 언더컷(undercut) 현상이 발생하지 않는 우수한 프로파일을 형성할 수 있다.

대표청구항

불소화합물;질소원자를 2개 이상 포함하고 있는 아민계 포화화합물; 및물;을 포함하되,상기 아민계 포화화합물이 하기 화학식 1로 표시되는 화합물인, 실리콘산화막 및 실리콘질화막 에칭액[화학식 1]상기 식에서, A는 고리내에 2개 이상의 질소원자를 포함하는 탄소수 2 내지 10의 포화 헤테로 고리이며, R1 및 R2 는 각각 독립적으로 수소원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬, 아미노알킬, 또는 탄소수 6 내지 10의 방향족기이다.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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