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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0139298 (2014-10-15) | |
공개번호 | 10-2016-0016486 (2016-02-15) | |
등록번호 | 10-2286471-0000 (2021-07-30) | |
우선권정보 | 미국(US) 14/448,745 (2014-07-31) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140139298 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-08-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
고압 어닐링 처리 시스템에서 어닐링 가스들을 회수하기 위한 새로운 방법들, 시스템들, 그리고 장치들이 설명된다. 실시례에 따르면, 상기 고압 어닐링 처리 시스템으로부터의 배기가스들은 희귀 가스, 예를 들면, 중수소가 사용될 때 가스 회수 시스템으로 보내진다. 상기 어닐링 가스는 상기 고압 어닐링 처리 시스템에서 사용되는 다른 가스들로부터 분리된 후 대용량 저장 및 분배 장치로 전달되기 전에 가압되고 여과되고 정제된다.일 실시례에서, 상기 회수된 가스는 이후 웨이퍼들을 어닐링하기 위하여 상기 고압 어닐링 처리 시스템에 다시 제공된다.
고압 어닐링 처리 시스템에서 적어도 제1 어닐링 가스의 존재를 나타내는 신호를 수신하는 단계;제2 가스로 가스 회수 시스템을 퍼지(purge)하는 단계;상기 적어도 제1 어닐링 가스를 상기 가스 회수 시스템으로 흘러가도록 하여 상기 적어도 제1 어닐링 가스와 상기 제2 가스를 혼합시킴으로써 상기 가스 회수 시스템에서 다수의 가스들의 혼합물을 형성하는 단계;상기 가스 회수 시스템의 가스 분리 장치에서 상기 다수의 가스들을 분리하고. 상기 가스 분리 장치는 상기 다수의 가스들로부터 상기 적어도 제1 어닐링 가스를 실질적으로 분리하여 분
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