초록

고압 어닐링 처리 시스템에서 어닐링 가스들을 회수하기 위한 새로운 방법들, 시스템들, 그리고 장치들이 설명된다. 실시례에 따르면, 상기 고압 어닐링 처리 시스템으로부터의 배기가스들은 희귀 가스, 예를 들면, 중수소가 사용될 때 가스 회수 시스템으로 보내진다. 상기 어닐링 가스는 상기 고압 어닐링 처리 시스템에서 사용되는 다른 가스들로부터 분리된 후 대용량 저장 및 분배 장치로 전달되기 전에 가압되고 여과되고 정제된다.일 실시례에서, 상기 회수된 가스는 이후 웨이퍼들을 어닐링하기 위하여 상기 고압 어닐링 처리 시스템에 다시 제공된다.

대표청구항 ▼

고압 어닐링 처리 시스템에서 적어도 제1 어닐링 가스의 존재를 나타내는 신호를 수신하는 단계;제2 가스로 가스 회수 시스템을 퍼지(purge)하는 단계;상기 적어도 제1 어닐링 가스를 상기 가스 회수 시스템으로 흘러가도록 하여 상기 적어도 제1 어닐링 가스와 상기 제2 가스를 혼합시킴으로써 상기 가스 회수 시스템에서 다수의 가스들의 혼합물을 형성하는 단계;상기 가스 회수 시스템의 가스 분리 장치에서 상기 다수의 가스들을 분리하고. 상기 가스 분리 장치는 상기 다수의 가스들로부터 상기 적어도 제1 어닐링 가스를 실질적으로 분리하여 분

고압 어닐링 처리 시스템에서 적어도 제1 어닐링 가스의 존재를 나타내는 신호를 수신하는 단계;제2 가스로 가스 회수 시스템을 퍼지(purge)하는 단계;상기 적어도 제1 어닐링 가스를 상기 가스 회수 시스템으로 흘러가도록 하여 상기 적어도 제1 어닐링 가스와 상기 제2 가스를 혼합시킴으로써 상기 가스 회수 시스템에서 다수의 가스들의 혼합물을 형성하는 단계;상기 가스 회수 시스템의 가스 분리 장치에서 상기 다수의 가스들을 분리하고. 상기 가스 분리 장치는 상기 다수의 가스들로부터 상기 적어도 제1 어닐링 가스를 실질적으로 분리하여 분리된 어닐링 가스를 얻는 단계;상기 분리된 어닐링 가스를 상기 가스 회수 시스템의 열교환 장치로 전달하는 단계;상기 가스 회수 시스템의 가스 모니터링 시스템에서 상기 분리된 어닐링 가스를 시험하여 상기 분리된 어닐링 가스의 품질을 모니터링하고, 상기 분리된 어닐링 가스에서 상기 적어도 제1 어닐링가스의 농도가 소정의 임계치 미만인 경우, 상기 분리된 어닐링 가스를 상기 가스 분리 장치로 전달하여 상기 분리된 어닐링 가스를 재처리하고, 상기 분리된 어닐링 가스의 품질을 재검사하는 단계;상기 분리된 어닐링 가스를 상기 가스 회수 시스템의 가스 가압 장치로 전달하고 상기 분리된 어닐링 가스를 대기압보다 높게 가압하여 가압된 제1 어닐링 가스를 얻는 단계;상기 제1 가압된 어닐링 가스를 정제 시스템으로 전달하는 단계; 및 상기 고압 어닐링 공정 시스템에서 상기 가압된 제1 어닐링 가스를 재사용하기 전에 상기 정제된 그리고 가압된 제1 어닐링 가스를 일정 기간 이상 보관하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정에서 다수의 기판을 어닐링하기 위하여 사용되는 고압 어닐링 처리 시스템의 배기가스로부터 적어도 제1 어닐링 가스를 회수 하는 방법.