초록 ▼

본 발명의 일 실시예는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 클램프와 접지부 사이의 전기 저항을 측정하여, 측정값이 기준치 이하일 경우 알람을 발생시켜 클램프의 유지 보수 여부를 정확하게 결정할 수 있는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 직류 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 전원 공급부에 전기적으로 연결된 기준 저항; 상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프; 상기 기준 저항과 상기 클램프의 사

본 발명의 일 실시예는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 클램프와 접지부 사이의 전기 저항을 측정하여, 측정값이 기준치 이하일 경우 알람을 발생시켜 클램프의 유지 보수 여부를 정확하게 결정할 수 있는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 직류 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 전원 공급부에 전기적으로 연결된 기준 저항; 상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프; 상기 기준 저항과 상기 클램프의 사이에 전기적으로 연결되어, 상기 클램프의 전기 저항이 상기 기준 저항보다 작은지 감지하는 감지부로 이루어진 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치를 개시한다.

대표청구항 ▼

직류 전원을 공급하는 전원 공급부;상기 전원 공급부에 전기적으로 연결되며, 가변 저항으로 형성된 기준 저항;상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프;상기 기준 저항과 상기 클램프의 사이에 전기적으로 연결되어 상기 클램프의 전기 저항을 측정하며, 측정된 상기 클램프의 전기 저항이 상기 기준 저항보다 낮아지는지 여부를 감지하는 감지부를 포함하며,상기 플라텐은 접지부에 접지되고,상기 클램프의 전기 저항은 상기 클램프와 상기 접지부 사이의 전기 저항인 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프

직류 전원을 공급하는 전원 공급부;상기 전원 공급부에 전기적으로 연결되며, 가변 저항으로 형성된 기준 저항;상기 기준 저항에 전기적으로 연결되고, 기판이 안착되는 플라텐에 절연 상태로 고정된 클램프;상기 기준 저항과 상기 클램프의 사이에 전기적으로 연결되어 상기 클램프의 전기 저항을 측정하며, 측정된 상기 클램프의 전기 저항이 상기 기준 저항보다 낮아지는지 여부를 감지하는 감지부를 포함하며,상기 플라텐은 접지부에 접지되고,상기 클램프의 전기 저항은 상기 클램프와 상기 접지부 사이의 전기 저항인 것을 특징으로 하는 성막 장치의 클램프 단락 감지 장치.