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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0155466 (2014-11-10) | |
공개번호 | 10-2015-0063916 (2015-06-10) | |
등록번호 | 10-1665065-0000 (2016-10-05) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2013-249351 (2013-12-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140155466 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-11-10) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
배기유로의 컨덕턴스의 저하를 억제하면서, 콜드트랩의 배기속도를 높인다.콜드트랩(10)은, 진공용기(12)와 터보분자펌프(14)와의 사이에 배치된다. 콜드트랩(10)은, 콜드패널(24)과, 배기유로(18)에 있어서 콜드패널(24)을 둘러싸는 콜드패널용기(26)를 구비한다. 콜드패널(24)은, 콜드패널용기(26)의 밖에 확장패널(34)을 구비한다. 확장패널(34)은, 진공용기(12)의 안에 배치된다.
진공용기와 상기 진공용기를 위한 진공펌프와의 사이에 배치되는 콜드트랩으로서,콜드패널과,상기 진공용기의 배기구로부터 상기 진공펌프의 흡기구로의 배기유로에 있어서 상기 콜드패널을 둘러싸는 콜드패널용기를 구비하고,상기 콜드패널은, 상기 배기유로의 중심축을 둘러싸도록 통형으로 형성되어 있는 콜드패널기부 및 상기 콜드패널용기의 밖에 확장부분을 구비하며, 상기 확장부분은, 상기 진공용기의 안에 배치되며,상기 콜드패널기부는 상기 콜드패널용기의 밖으로 뻗는 연장부분을 구비하고, 상기 연장부분을 통해 상기 확장부분과 열적으로 접촉하고, 상기 콜드패
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