최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0556664 (2014-12-01) |
공개번호 | US-0151215 (2015-06-04) |
우선권정보 | JP-2013-249351 (2013-12-02) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A cold trap is provided between a vacuum chamber and a vacuum pump. The cold trap includes a cold panel and a cold panel chamber that surrounds the cold panel in an exhaust passage. The cold panel includes an expansion panel outside the cold panel chamber. The expansion panel is located in the vacuu
1. A cold trap provided between a vacuum chamber and a vacuum pump for the vacuum chamber, comprising: a cold panel; anda cold panel chamber that surrounds the cold panel in an exhaust passage from an exhaust port of the vacuum chamber to an intake port of the vacuum pump,wherein the cold panel comp
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.