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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0181317 (2014-12-16) | |
공개번호 | 10-2016-0073035 (2016-06-24) | |
등록번호 | 10-2326297-0000 (2021-11-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140181317 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-07-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 실리카 연마입자, 그의 제조방법 및 실리카 연마입자를 포함하는 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 제1 측면에 따른 실리카 연마입자는, 표면에 유기 기능기를 포함하고, 내부에 상기 유기 기능기와 동일한 작용기를 포함하고, 입자 크기가 10 내지 150 nm인 것이다.
표면에 유기 기능기를 포함하고,내부에 상기 유기 기능기와 동일한 기능기를 포함하고,입자 크기가 10 내지 150 nm인 실리카 연마입자로서,상기 실리카 연마입자의 형상은 구형인 것이고,상기 유기 기능기는, 탄소-탄소, 탄소-질소, 탄소-황 및 탄소-산소로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 결합을 포함하는 것이고,상기 유기 기능기는, 소수성 작용기 또는 친수성 작용기인 것이고,상기 친수성 작용기는, 수산기, 아민기, 카르복실기, 카르보닐기, 에스테르기, 알데하이드기 및 설폰기로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를
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