[특허]실리콘 산화막 식각액

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실리콘 산화막 식각액 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/06 C09K-013/08 H01L-021/306 H01L-021/3105
출원번호	10-2015-0002734 (2015-01-08)
공개번호	10-2016-0085569 (2016-07-18)
등록번호	10-1643655-0000 (2016-07-22)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150002734
발명자 / 주소	이명호 / 충청남도 아산시 인주면 인주산단로 *- 정태수 / 충청남도 아산시 인주면 인주산단로 *- 문재웅 / 충청남도 아산시 인주면 인주산단로 *-
출원인 / 주소	주식회사 이엔에프테크놀로지 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로번길 (공세동)
대리인 / 주소	김애라
심사청구여부	있음 (2015-01-08)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은, 실리콘 산화막을 선택적으로 식각할 수 있는 실리콘 산화막 식각액을 제공한다. 본 발명에 따른 실리콘 산화막 식각액에 의하면, 실리콘막 부식 방지제를 함유함에 따라, 반도체 패턴 구조 형성시 실리콘막에 손상을 주지 않으면서 실리콘 산화막을 식각할 수 있으므로 각종 반도체 소자 공정에 유용하게 쓰일 수 있다.

대표청구항

실리콘 산화막 식각액 100중량부를 기준으로,다가 히드록시기 함유 실리콘 부식방지제 0.1 내지 3중량부;질소 함유 할로겐화물 5 내지 30중량부;무기산 및 유기산 중 1종 이상의 화합물 0.5 내지 10중량부; 및잔량의 물;을 포함하며,상기 다가 히드록시기 함유 실리콘 부식방지제가 아스콜빈산, 솔비톨, 글루코스, 자일로스, 만노스 및 폴리에틸렌글리콜 중 어느 하나 이상을 포함하는 것인 실리콘 산화막 식각액.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

[한국] 실리콘 산화물 식각액 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 | 황동원, 이헌정, 임광신, 박정대
상세보기
[한국] 실리콘산화막 및 실리콘질화막 식각용 식각액 조성물 | 정찬진, 백귀종, 박성환, 임정훈, 김성배, 김현탁, 주상진
상세보기
[한국] 실리콘 산화막에 대한 선택적 에칭액 조성물 | 이재연, 진영준
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관련 콘텐츠

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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