초록 ▼

본 발명은 정전척용 DC 포트의 구조에 관한 것이다. 본 발명은 절연체 베이스(107)와, 하단부가 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 전도성 전극로드(102)와, 하단에 방사상의 플랜지(111)를 구비하고 상기 전극로드(102)가 내부의 중공에 삽입됨과 동시에 상기 플랜지(111)는 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 절연튜브(103)를 포함하는 정전척용 DC 포트(101)에 있어서, 상기 전극로드(102)는 상기 절연튜브(103)의 상부면으로부터 상측으로 노출되는 상단부(108)를 포함하되, 상기 상단부

본 발명은 정전척용 DC 포트의 구조에 관한 것이다. 본 발명은 절연체 베이스(107)와, 하단부가 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 전도성 전극로드(102)와, 하단에 방사상의 플랜지(111)를 구비하고 상기 전극로드(102)가 내부의 중공에 삽입됨과 동시에 상기 플랜지(111)는 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 절연튜브(103)를 포함하는 정전척용 DC 포트(101)에 있어서, 상기 전극로드(102)는 상기 절연튜브(103)의 상부면으로부터 상측으로 노출되는 상단부(108)를 포함하되, 상기 상단부(108)는 평탄한 상단면(109)과, 상기 상단면(109)으로부터 연장되어 상기 전극로드(102)와 상기 절연튜브(103)의 상부면 간의 경계면에 이르는 경사면(110)을 포함한다. 상기 경사면(110)의 기울기는 70°이하로 형성됨이 바람직하다.

대표청구항 ▼

절연체 베이스(107)와, 하단부가 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 전도성 전극로드(102)와, 하단에 방사상의 플랜지(111)를 구비하고 상기 전극로드(102)가 내부의 중공에 삽입됨과 동시에 상기 플랜지(111)는 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 절연튜브(103)를 포함하는 정전척용 DC 포트(101)에 있어서,상기 전극로드(102)는 상기 절연튜브(103)의 상부면으로부터 상측으로 노출되는 상단부(108)를 포함하되, 상기 상단부(108)는 평탄한 상단면(109)과, 상기 상단면(109)으로부터

절연체 베이스(107)와, 하단부가 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 전도성 전극로드(102)와, 하단에 방사상의 플랜지(111)를 구비하고 상기 전극로드(102)가 내부의 중공에 삽입됨과 동시에 상기 플랜지(111)는 상기 절연체 베이스(107)의 상면측에 결합되는 절연튜브(103)를 포함하는 정전척용 DC 포트(101)에 있어서,상기 전극로드(102)는 상기 절연튜브(103)의 상부면으로부터 상측으로 노출되는 상단부(108)를 포함하되, 상기 상단부(108)는 평탄한 상단면(109)과, 상기 상단면(109)으로부터 연장되어 상기 전극로드(102)와 상기 절연튜브(103)의 상부면 간의 경계면에 이르는 경사면(110)을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척용 DC 포트.